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物理研究所 [4]
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期刊论文 [4]
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2005 [2]
2001 [1]
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Calculation of ion energy distributions of argon excimer ions generated in helicon plasma
期刊论文
CHINESE PHYSICS, 2005, 卷号: 14, 期号: 11, 页码: 2256
Fang, TZ
;
Nan, J
;
Long, W
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提交时间:2013/09/17
ANALYZER
SHEATHS
Mass-resolved retarding field energy analyzer and its measurement of ion energy distribution in helicon plasma
期刊论文
NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2005, 卷号: 229, 期号: 3-4, 页码: 508
Jiang, N
;
Zhao, N
;
Liu, HF
;
Fang, TZ
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提交时间:2013/09/18
RADIO-FREQUENCY DISCHARGES
LANGMUIR PROBE
SPECTROMETRIC MEASUREMENTS
ANGULAR-DISTRIBUTIONS
HIGH-DENSITY
RF-PLASMA
ARGON
SYSTEM
BOMBARDMENT
SUBSTRATE
Helicon discharge using a nagoya type III antenna
期刊论文
CHINESE PHYSICS LETTERS, 2001, 卷号: 18, 期号: 8, 页码: 1098
Fang, TZ
;
Wang, L
;
Jiang, DM
;
Zhang, HX
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提交时间:2013/09/17
PLASMA
FREQUENCY
WAVES
Principle and applications of helicon-wave excited plasma sources (in Chinese)
期刊论文
Physics, 1999, 卷号: 28, 页码: 162
T.Z. Fang
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提交时间:2013/09/24
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