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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 学科主题：Physics, Applied     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 The use of nanocavities for the fabrication of ultrathin buried oxide layers 期刊论文 APPLIED PHYSICS LETTERS, 2009, 卷号: 94, 期号: 1, 页码: 11903-11903 Ou, X; Kogler, R; Mucklich, A; Skorupa, W; Moller, W; Wang, X; Vines, L 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2012/03/24 ION-IMPLANTATION  SOI MOSFETS  SILICON  SI  HELIUM  SEPARATION  DEFECTS  TEMPERATURE  HYDROGEN  BUBBLES   Comparison of Cu gettering to H+ and He+ implantation-induced cavities in separation-by-implantation-of-oxygen wafers 期刊论文 JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 1999, 卷号: 85, 期号: 1, 页码: 94-98 Zhang, MA; Lin, CL; Duo, XZ; Lin, ZX; Zhou, ZY 收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2012/03/25 ION-IMPLANTATION  SILICON-OXIDES  COPPER  TECHNOLOGY  BREAKDOWN  NICKEL  CARBON