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北京大学 [6]
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其他 [6]
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2004 [3]
1994 [2]
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A new damage model for ion implantation simulation with molecular dynamics method
其他
2004-01-01
Wang, R
;
Yu, M
;
Zhan, K
;
Shi, XK
;
Ji, HH
;
Zhang, JY
;
Oka, H
收藏
  |  
浏览/下载:3/0
  |  
提交时间:2015/11/13
ion implantation
simulation
damage model
amorphous pockets
amorphization
SILICON
MORPHOLOGY
Defects in ion implantation and annealing studied by atomistic model
其他
2004-01-01
Yu, M
;
Wang, R
;
Ji, HH
;
Shi, XK
;
Zhan, K
;
Wang, YY
;
Zhang, JY
;
Oka, H
收藏
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浏览/下载:4/0
  |  
提交时间:2015/11/13
simulation
implantation
annealing
shallow junction
SILICON
SIMULATION
Defects in ion implantation and annealing studied by atomistic model
其他
2004-01-01
Yu, Min
;
Wang, Rong
;
Ji, Huihui
;
Shi, Xiaokang
;
Zhan, Kai
;
Wang, Yangyuan
;
Zhang, Jinyu
;
Oka, Hideki
收藏
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2015/11/13
RBS STUDIES OF THE LATTICE DAMAGE CAUSED BY 1 MEV SI+ IMPLANTATION INTO AL0.3GA0.7AS/GAAS SUPERLATTICES AT ELEVATED-TEMPERATURE
其他
1994-01-01
XU, TB
;
ZHU, PR
;
ZHOU, JS
;
LI, DQ
;
GONG, B
;
WAN, Y
;
MU, SM
;
ZHAO, QT
;
WANG, ZL
收藏
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浏览/下载:2/0
  |  
提交时间:2015/11/16
ION-IMPLANTATION
AMORPHIZATION
DAMAGE ACCUMULATION AND AMORPHIZATION IN GAAS BY MEV SI+ ION-IMPLANTATION AT DIFFERENT TILT ANGLES
其他
1994-01-01
ZHAO, QT
;
WANG, ZL
;
XU, TB
;
ZHU, PR
;
ZHOU, JS
收藏
  |  
浏览/下载:4/0
  |  
提交时间:2015/11/16
TEMPERATURE
CRYSTALS
MEV ION-BEAM INDUCED CRYSTALLIZATION IN HIGH-ENERGY AS+ ION-IMPLANTED SILICON
其他
1991-01-01
WANG, ZL
;
ZHANG, BX
收藏
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2015/11/13
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