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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 专题：沈阳自动化研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位    内容类型：学位论文     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序 基于纳米操作机器人的超声加工与检测协同设计研究 学位论文 博士, 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2018 作者:  施佳林;  郭晓鹏 收藏  |  浏览/下载：52/0  |  提交时间：2018/06/16 纳米操作机器人  原子力显微镜  超声纳米加工  加工检测  纳米器件   扫描探针显微镜研制中的若干关键技术研究 学位论文 博士, 中国科学院沈阳自动化研究所: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2015 作者:  王栋 收藏  |  浏览/下载：60/0  |  提交时间：2015/08/20 扫描探针显微镜  原子力显微镜  关键技术  迟滞前馈校正  幅值检测   基于微纳操控的石墨烯纳米器件制造基础理论与关键技术研究 学位论文 博士, 中国科学院沈阳自动化研究所: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2014 作者:  张嵛 收藏  |  浏览/下载：65/0  |  提交时间：2015/08/20 纳米操作机器人  原子力显微镜  石墨烯  密度泛函理论  光诱导介电泳  纳米器件