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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 内容类型：会议论文    学科主题：Atomic force microscopy - Finishing - Light - Light scattering - Lithography - Optical testing - Silicon - Substrates - Surface defects - Surface properties - Surface roughness     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Light scattering to investigate the surface quality of silicon substrates 会议论文 Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering, 2015 作者:  Zhang, Xingxin;  Huang, Wei;  Hu, Xiaochuan 收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2016/11/25