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高NA光刻机投影物镜偏振像差检测技术研究 学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者:  沈丽娜
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Measuring Method of Polarization Aberration Based on Vector Aerial Image of Alternating Phase-shift Mask 期刊论文
光学学报, 2016, 卷号: 36, 期号: 8, 页码: 811003
作者:  Li SK(李思坤);  Zhang H(张恒);  Meng ZJ(孟泽江);  Zhu BE(诸波尔);  Yan GY(闫观勇)
收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2017/12/25
General analytical expressions for the impact of polarization aberration on lithographic imaging under linearly polarized illumination 期刊论文
J. Opt. Soc. Am. A-Opt. Image Sci. Vis., 2016, 卷号: 33, 期号: 6, 页码: 1112
作者:  Zhu, Boer;  Shen, Lina;  Wang, Xiangzhao;  Li, Sikun;  Yan, Guanyong
收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2017/12/25
General analytical expressions for the impact of polarization aberration on lithographic imaging under linearly polarized illumination 期刊论文
J. Opt. Soc. Am. A-Opt. Image Sci. Vis., 2016, 卷号: 33, 期号: 6, 页码: 1112
作者:  Zhang, Heng;  Shen, Lina;  Wang, Xiangzhao;  Li, Sikun;  Yan, Guanyong
收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2017/12/25
Measuring Method of Polarization Aberration Based on Vector Aerial Image of Alternating Phase-shift Mask 期刊论文
光学学报, 2016, 卷号: 36, 期号: 8, 页码: 811003
作者:  Yan GY(闫观勇);  Shen LN(沈丽娜);  Wang XC(王向朝);  Li SK(李思坤);  Zhu BE(诸波尔)
收藏  |  浏览/下载：35/0  |  提交时间：2017/12/25
Analytical analysis of the impact of polarization aberration of projection lens on lithographic imaging 期刊论文
j. micro-nanolithogr. mems moems, 2015, 卷号: 14, 期号: 4, 页码: 43504
作者:  Shen, Lina;  Li, Sikun;  Wang, Xiangzhao;  Yan, Guanyong
收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2016/11/28
Analytical analysis for impact of polarization aberration of projection lens on lithographic imaging quality 会议论文
conference on optical microlithography xxviii
作者:  Shen, Lina;  Li, Sikun;  Wang, Xiangzhao;  Yan, Guanyong
收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2016/11/28
投影物镜偏振像差对光刻成像质量影响的解析分析方法 期刊论文
光学学报, 2015, 卷号: 35, 期号: 6, 页码: 611003
作者:  沈丽娜;  李思坤;  王向朝;  闫观勇
收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2016/11/28
一种基于线性模型的光刻投影物镜偏振像差补偿方法 期刊论文
光学学报, 2013, 卷号: 33, 期号: 6, 页码: 622002
作者:  涂远莹;  王向朝
收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2016/11/28
Demagnifying high-resolution imaging based on a new system for nanolithography 期刊论文
OPTICS COMMUNICATIONS, 2011, 卷号: 284, 期号: 16-17, 页码: 3891-3894
作者:  Meng, QQ;  Zhang, XP;  Cheng, L;  Cao, PF;  Li, YE
收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2015/12/15

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