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科研机构
兰州理工大学 [1]
金属研究所 [1]
内容类型
学位论文 [2]
发表日期
2018 [1]
2012 [1]
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四元AlCrTiN高温耐磨涂层制备及性能研究
学位论文
2018
作者:
郑军
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提交时间:2020/11/05
可调控高功率脉冲磁控溅射技术
放电电压
Ti靶功率
微观结构
力学性能
摩擦学性能
切削性能
中频孪生靶非平衡磁控溅射纳米硅薄膜的研究
学位论文
博士, 北京: 中国科学院金属研究所, 2012
高俊华
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提交时间:2013/04/12
中频孪生靶
非平衡磁控溅射
纳米硅薄膜
磁镜场
middle frequency dual-target
unbalanced magnetron sputtering
nc-Si film
magnetic mirror field
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