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上海微系统与信息技... [28]
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期刊论文 [27]
会议论文 [1]
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专题:上海微系统与信息技术研究所
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The Effect of AlN Nucleation Temperature on the Growth of AlN Films via Metalorganic Chemical Vapor Deposition
期刊论文
JOURNAL OF ELECTRONIC MATERIALS, 2012, 卷号: 41, 期号: 3, 页码: 466-470
Wang, H
;
Li, SL
;
Xiong, H
;
Wu, ZH
;
Dai, JN
;
Tian, Y
;
Fang, YY
;
Chen, CQ
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提交时间:2013/04/17
Aluminum nitride
nucleation
pulsed atomic layer epitaxy
metalorganic chemical vapor deposition
A novel capacitive accelerometer with a highly symmetrical double-sided beam-mass structure
期刊论文
SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL, 2012, 卷号: 179, 页码: 291-296
Zhou, XF
;
Che, LF
;
Xiong, B
;
Li, XL
;
Wu, J
;
Wang, YL
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浏览/下载:8/0
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提交时间:2013/04/23
Micro-fabrication
Accelerometer
Symmetrical structure
The Effect of AlN Nucleation Temperature on the Growth of AlN Films via Metalorganic Chemical Vapor Deposition
期刊论文
JOURNAL OF ELECTRONIC MATERIALS, 2012, 卷号: 41, 期号: 3, 页码: 466-470
Wang, H
;
Li, SL
;
Xiong, H
;
Wu, ZH
;
Dai, JN
;
Tian, Y
;
Fang, YY
;
Chen, CQ
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浏览/下载:19/0
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提交时间:2013/05/10
Engineering
Materials Science
Physics
Electrical & Electronic
Multidisciplinary
Applied
Robust Array-Composite Micromachined Thermopile IR Detector by CMOS Technology
期刊论文
IEEE ELECTRON DEVICE LETTERS, 2011, 卷号: 32, 期号: 12, 页码: 1761-1763
Xu,DH
;
Xiong,B
;
Wang,YL
;
Li,T
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提交时间:2012/04/12
IEEE-INST ELECTRICAL ELECTRONICS ENGINEERS INC
Resonant cantilever sensors operated in a high-Q in-plane mode for real-time bio/chemical detection in liquids
期刊论文
SENSORS AND ACTUATORS B-CHEMICAL, 2011, 卷号: 157, 期号: 2, 页码: 606-614
Tao, YH
;
Li, XX
;
Xu, TG
;
Yu, HT
;
Xu, PC
;
Xiong, B
;
Wei, CZ
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提交时间:2012/04/12
ELSEVIER SCIENCE SA
Robust Array-Composite Micromachined Thermopile IR Detector by CMOS Technology
期刊论文
IEEE ELECTRON DEVICE LETTERS, 2011, 卷号: 12, 期号: 12 Pages, 页码: 1761-1763
Xu, DH
;
Xiong, B
;
Wang, YL
;
Li, T ,
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浏览/下载:22/0
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提交时间:2012/05/12
Resonant cantilever sensors operated in a high-Q in-plane mode for real-time bio/chemical detection in liquids
期刊论文
SENSORS AND ACTUATORS B-CHEMICAL, 2011, 卷号: 157, 期号: 2 Pages, 页码: 606-614
Tao, YH ,
;
Li, XX
;
Xu, TG
;
Yu, HT
;
Xu, PC
;
Xiong, B
;
Wei, CZ ,,
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提交时间:2012/05/12
The metal grating coupling of long-wavelength quantum well infrared photodetectors: surface plasmon effect
期刊论文
JOURNAL OF INFRARED AND MILLIMETER WAVES, 2011, 卷号: 30, 期号: 5, 页码: 415-418
Weng, QC
;
Li, L
;
Chen, J
;
Wen, J
;
Xiong, DY
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2012/04/10
SCIENCE PRESS
The metal grating coupling of long-wavelength quantum well infrared photodetectors: surface plasmon effect
期刊论文
JOURNAL OF INFRARED AND MILLIMETER WAVES, 2011, 卷号: 30, 期号: 5
Weng, QC
;
Li, L
;
Chen, J
;
Wen, J
;
Xiong, DY
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浏览/下载:15/0
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提交时间:2013/05/10
Optics
HIGH-Q IN-PLANE RESONANCE-MODE CANTILEVER BIO/CHEMICAL SENSOR FOR REAL-TIME DETECTION IN LIQUIDS
会议论文
Transducers’11:The 16th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 2011
Y.H. Tao, C.Z. Wei, H.T. Yu, P.C. Xu, T.G. Xu, B. Xiong, Xinxin Li
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提交时间:2012/05/04
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