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上海微系统与信息... [117]
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专题:上海微系统与信息技术研究所
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聚二甲基硅氧烷(PDMS)/玻璃微流控芯片电泳快速分离血清高密度脂蛋白亚类及临床应用研究
期刊论文
分析化学, 2012, 期号: 2, 页码: 230-235
钱晶晶
;
季伙燕
;
丛辉
;
王惠民
;
金庆辉
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浏览/下载:26/0
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提交时间:2013/02/22
PDMS/玻璃微流控芯片电泳
冠心病
高密度脂蛋白亚分
不同碱和分散剂对蓝宝石基片研磨的影响
期刊论文
半导体技术, 2012, 期号: 4, 页码: 267-270
张泽芳
;
刘卫丽
;
宋志棠
收藏
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浏览/下载:31/0
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提交时间:2013/02/22
多晶金刚石
三乙醇胺
分散剂
蓝宝石
研磨
壳聚糖修饰氧化铁磁性纳米颗粒的制备和性能研究
期刊论文
功能材料与器件学报, 2012, 期号: 2, 页码: 147-152
葛玉卿
;
张宇
;
顾宁
收藏
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浏览/下载:23/0
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提交时间:2013/02/22
氧化铁磁性纳米颗粒
壳聚糖
表面修饰
磁共振造影剂
Mechanism of Ge2Sb2Te5 chemical mechanical polishing
期刊论文
APPLIED SURFACE SCIENCE, 2012, 卷号: 258, 期号: 12, 页码: 5185-5190
Wang, LY
;
Song, ZT
;
Zhong, M
;
Liu, WL
;
Yan, WX
;
Qin, F
;
He, AD
;
Liu, B
收藏
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浏览/下载:11/0
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提交时间:2013/04/17
CMP
GST
Mechanism
可控氧化硅去除速率的化学机械抛光液
专利
专利类型: 发明, 专利号: CN102268224A, 申请日期: 2011-12-07, 公开日期: 2011-12-07
王良咏
;
宋志棠
;
刘波
;
刘卫丽
;
封松林
收藏
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浏览/下载:23/0
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提交时间:2012/01/06
Influence of pH and abrasive concentration on polishing rate of amorphous Ge2Sb2Te5 film in chemical mechanical polishing
期刊论文
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B, 2011, 卷号: 29, 期号: 1, 页码: 11020
Zhang,ZF
;
Liu,WL
;
Song,ZT
收藏
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浏览/下载:18/0
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提交时间:2012/04/10
A V S AMER INST PHYSICS
Influence of pH and abrasive concentration on polishing rate of amorphous Ge(2)Sb(2)Te(5) film in chemical mechanical polishing
期刊论文
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B, 2011, 卷号: 29, 期号: 1, 页码: 11020
Zhang, ZF
;
Liu, WL
;
song, zt(重点实验室)
收藏
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浏览/下载:6/0
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提交时间:2013/05/10
Engineering
Physics
Electrical & Electronic
Nanoscience & Nanotechnology
Applied
一种提高硅衬底化学机械抛光速率的抛光组合物及其应用
专利
专利类型: 发明, 专利号: CN101857774A, 申请日期: 2010-10-13, 公开日期: 2010-10-13
汪海波
;
宋志棠
;
刘卫丽
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浏览/下载:36/0
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提交时间:2012/01/06
微流控芯片电泳分离血清高密度脂蛋白亚类的研究
期刊论文
生物化学与生物物理进展, 2010, 期号: 02
郑慧斐
;
丛辉
;
王惠民
;
金庆辉
;
赵建龙
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浏览/下载:77/0
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提交时间:2012/01/06
电子技术
MEMS
高量程加速度传感器
阻尼效果
近似叠加理论
基于扩展卡尔曼滤波的动量轮故障检测方法
期刊论文
航空学报, 2010, 期号: 08
李知周
;
张锐
;
朱振才
;
梁旭文
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浏览/下载:8/0
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提交时间:2012/01/06
蓝宝石
化学机械抛光(CMP)
二氧化硅
pH值
Heresy系数
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