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新型三明治MEMS加速度传感器的设计、制作与测试 学位论文
博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2012
周晓峰
收藏  |  浏览/下载：120/0  |  提交时间：2013/04/24
平面型相变存储器的制备及性能研究 学位论文
博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2012
杜小锋
收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2013/04/24
超薄超导材料的制备、表征及应用研究 学位论文
博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2012
王兴
收藏  |  浏览/下载：42/0  |  提交时间：2013/04/24
Poly-Silicon Grating Couplers for Efficient Coupling With Optical Fibers 期刊论文
IEEE PHOTONICS TECHNOLOGY LETTERS, 2012, 卷号: 24, 期号: 18, 页码: 1614-1617
Qiu, C; Sheng, Z; Li, L; Pang, A; Wang, ZQ; Wu, AM; Wang, X; Zou, SC; Gan, FW
收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2013/04/17
Reduction of nanoparticle deposition during fabrication of porous anodic alumina 期刊论文
THIN SOLID FILMS, 2012, 卷号: 520, 期号: 13, 页码: 4321-4325
Ding, JN; Zhu, Y; Yuan, NY; Ding, GQ
收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2013/04/17
Fabrication of high quality strained SiGe on Si substrate by RPCVD 期刊论文
CHINESE SCIENCE BULLETIN, 2012, 卷号: 57, 期号: 15, 页码: 1862-1867
Xue, ZY; Chen, D; Liu, LJ; Jiang, HT; Bian, JT; Wei, X; Di, ZF; Zhang, M; Wang, X
收藏  |  浏览/下载：62/0  |  提交时间：2013/04/17
Isotropic Silicon Etching With XeF2 Gas for Wafer-Level Micromachining Applications 期刊论文
JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 2012, 卷号: 21, 期号: 6, 页码: 1436-1444
Xu, DH; Xiong, B; Wu, GQ; Wang, YC; Sun, X; Wang, YL
收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2013/04/23
Design, Fabrication, and Characterization of a High-Heating-Efficiency 3-D Microheater for Catalytic Gas Sensors 期刊论文
JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 2012, 卷号: 21, 期号: 6, 页码: 1402-1409
Xu, L; Wang, YC; Zhou, H; Liu, YX; Li, T; Wang, YL
收藏  |  浏览/下载：23/0  |  提交时间：2013/04/23
Batch-fabricated cantilever probes with electrical shielding for nanoscale dielectric and conductivity imaging 期刊论文
JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2012, 卷号: 22, 期号: 11, 页码: 115040
Yang, YL; Lai, KJ; Tang, QC; Kundhikanjana, W; Kelly, MA; Zhang, K; Shen, ZX; Li, XX
收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2013/04/23
High Q Single Crystal Silicon Micromechanical Resonators With Hybrid Etching Process 期刊论文
IEEE SENSORS JOURNAL, 2012, 卷号: 12, 期号: 7, 页码: 2414-2415
Wu, GQ; Xu, DH; Xiong, B; Wang, YL
收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2013/04/23

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