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| 一种半导体器件的制造方法 专利
专利号: US10115804, 申请日期: 2018-10-30, 公开日期: 2015-11-12
作者: 王桂磊 ; 李俊峰; 刘金彪; 赵超
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| 亚波长极紫外金属透射光栅及其制作方法 专利
专利号: US9442230, 申请日期: 2016-09-13, 公开日期: 2014-06-26
作者: 李海亮; 谢常青; 刘明; 李冬梅; 史丽娜
收藏 | 浏览/下载：9/0 | 提交时间：2017/06/09 |
| Effects of MgO Thickness and Roughness on Perpendicular Magnetic Anisotropy in MgO/CoFeB/Ta Multilayers 期刊论文
CHIN. PHYS. LETT., 2016
作者: Zhu ZY(朱正勇); Zhong HC(钟汇才)
收藏 | 浏览/下载：10/0 | 提交时间：2017/05/09 |
| Efficient source mask optimization method for reduction of computational lithography cycles and enhancement of process-window predictability 期刊论文
J. Micro/Nanolith. MEMS MOEMS, 2015
作者: Wei YY(韦亚一); Guo MR(郭沫然); Song ZY(宋之洋)
收藏 | 浏览/下载：15/0 | 提交时间：2016/05/31 |
| 固态孔阵及其制作方法 专利
专利号: US9136160, 申请日期: 2015-09-15, 公开日期: 2014-01-03
作者: 赵超; 董立军
收藏 | 浏览/下载：3/0 | 提交时间：2016/09/19 |
| Enlage the process window of patterns in 22nm node by using mask topography aware OPC and SMO 期刊论文
CSTIC, 2015
作者: Song ZY(宋之洋); Wei YY(韦亚一); Su YJ(粟雅娟); Guo MR(郭沫然); Dong LS(董立松)
收藏 | 浏览/下载：9/0 | 提交时间：2016/05/31 |
| Optimization of silicon nanocrystals growth process by low pressure chemical vapor deposition for non-volatile memory application 期刊论文
Thin Solid Films, 2011
作者: Liu M(刘明)
收藏 | 浏览/下载：6/0 | 提交时间：2012/11/15 |
| Spiral photon sieves apodized by digital prolate spheroidal window for the generation of hard-x-ray vortex 外文期刊
2010
作者: Shi, LN; Zhu, XL; Xie, CQ; Liu, M
收藏 | 浏览/下载：5/0 | 提交时间：2010/11/26
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| Focusing properties of hard x-ray photon sieves: three-parameter apodization window and waveguide effect 外文期刊
2009
作者: Zhu, XL; Jia, J; Xie, CQ
收藏 | 浏览/下载：7/0 | 提交时间：2010/11/26
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