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平坦化处理方法 专利
专利号: US10068803, 申请日期: 2018-09-04, 公开日期: 2015-09-17
作者:  朱慧珑;  罗军;  李春龙;  邓坚;  赵超
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亚波长极紫外金属透射光栅及其制作方法 专利
专利号: US9442230, 申请日期: 2016-09-13, 公开日期: 2014-06-26
作者:  李海亮;  谢常青;  刘明;  李冬梅;  史丽娜
收藏  |  浏览/下载:9/0  |  提交时间:2017/06/09
平坦化处理方法 专利
专利号: US9406549, 申请日期: 2016-08-02, 公开日期: 2014-06-05
作者:  朱慧珑;  罗军;  李春龙;  邓坚;  赵超
收藏  |  浏览/下载:7/0  |  提交时间:2017/06/12
Research of periodic amorphous carbon composite films for MEMS IR source fabricated by magnetron sputtering 会议论文
作者:  Ming AJ(明安杰);  Sun XL(孙西龙);  Wang WB(王玮冰);  Liu WB(刘卫兵);  Chen DP(陈大鹏)
收藏  |  浏览/下载:12/0  |  提交时间:2017/05/18
Characteristics of HfLaON/SiO2 Gate Stack prepared using Reactive Sputtering 期刊论文
ECS Transactions, 2013
作者:  Xu QX(徐秋霞);  Xu GB(许高博);  Zhou HJ(周华杰)
收藏  |  浏览/下载:13/0  |  提交时间:2014/10/30
High-quality HfSiON gate dielectric and its application in a gate-last NMOSFET fabrication 会议论文
作者:  Xu GB(许高博);  Xu QX(徐秋霞);  Yin HX(殷华湘)
收藏  |  浏览/下载:13/0  |  提交时间:2014/10/30
Effects of Si, Ge and Ar ion-implantation on EL from Au/Si-rich SiO2/p-Si structure 外文期刊
2001
作者:  Chen, Y;  Ran, GZ;  Sun, YK;  Wang, YB;  Fu, JS
收藏  |  浏览/下载:9/0  |  提交时间:2010/11/26


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