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	Research of periodic amorphous carbon composite films for MEMS IR source fabricated by magnetron sputtering
	Ming AJ(明安杰); Sun XL(孙西龙); Wang WB(王玮冰); Liu WB(刘卫兵); Chen DP(陈大鹏)
	2016-04-20
文献子类	会议论文
语种	英语
内容类型	会议论文
源URL	[http://159.226.55.106/handle/172511/16299]
专题	微电子研究所_智能感知研发中心
作者单位	中国科学院微电子研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	Ming AJ,Sun XL,Wang WB,et al. Research of periodic amorphous carbon composite films for MEMS IR source fabricated by magnetron sputtering[C]. 见:.

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