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浏览/检索结果: 共5条，第1-5条 帮助 限定条件 专题：微电子研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Research of periodic amorphous carbon composite films for MEMS IR source fabricated by magnetron sputtering 会议论文 作者:  Ming AJ(明安杰);  Sun XL(孙西龙);  Wang WB(王玮冰);  Liu WB(刘卫兵);  Chen DP(陈大鹏) 收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2017/05/18 Effects of carbon pre-germanidation implant into Ge on the thermal stability of NiGe films 期刊论文 Microelectronic engineering, 2015 作者:  Liu QB(刘庆波);  Ke XX(柯星星);  Guo YL(郭奕栾);  Zhao C(赵超);  Wang GL(王桂磊) 收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2016/05/31 Effects of carbon pre-silicidation implant into Si substrate on NiSi 期刊论文 Microelectronic engineering, 2013 作者:  Chou ZJ(仇志军);  Luo J(罗军);  Deng J(邓坚) 收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2014/10/30 Preparation and Characteristics of Nanoscale Diamond-Like Carbon Films for Resistive Memory Applications 外文期刊 2010 作者:  Fu D, Xie D, Zhang CH, et al. 收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2010/11/26 Distortion of carbon nanotube array and its influence on carbon nanotube growth and termination 外文期刊 2008 作者:  Wu, J;  Huang, QW;  Ma, YF;  Huang, Y;  Liu, ZF 收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2010/11/26 Chemical-vapor-deposition  Architectures  Diffusion  Stacks  Film