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科研机构
上海微系统与信息技术... [5]
内容类型
期刊论文 [5]
发表日期
2011 [1]
2005 [1]
2004 [1]
1996 [1]
1994 [1]
学科主题
Applied [5]
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学科主题:Applied
内容类型:期刊论文
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Development of a Reliable Micro-Hotplate With Low Power Consumption
期刊论文
IEEE SENSORS JOURNAL, 2011, 卷号: 11, 期号: 4, 页码: 913-919
Xu,L
;
Li,T
;
Gao,XL
;
Wang,YL
收藏
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浏览/下载:11/0
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提交时间:2012/04/12
IEEE-INST ELECTRICAL ELECTRONICS ENGINEERS INC
Hydrogen annealing effects on epitaxy of SOI wafer
期刊论文
MATERIALS LETTERS, 2005, 卷号: 59, 期号: 2-3, 页码: 361-365
Cheng,XL
;
Lin,ZL
;
Wang,YJ
;
Xiao,HB
;
Feng,Z
;
Zou,SC
收藏
  |  
浏览/下载:13/0
  |  
提交时间:2012/03/24
SILICON-ON-INSULATOR
SIMOX
A study of silicon oxynitride film prepared by ion beam assisted deposition
期刊论文
MATERIALS LETTERS, 2004, 卷号: 58, 期号: 17-18, 页码: 2261-2265
Wang,YJ
;
Cheng,XL
;
Lin,ZL
;
Zhang,CS
;
Xiao,HB
;
Zhang,F
;
Zou,SC
收藏
  |  
浏览/下载:11/0
  |  
提交时间:2012/03/24
RAY PHOTOELECTRON-SPECTROSCOPY
WAVE-GUIDE
REFRACTIVE-INDEX
ON-INSULATOR
THIN-FILMS
AUGER-SPECTROSCOPY
INTEGRATED-OPTICS
NITRIDE FILMS
ELLIPSOMETRY
LAYERS
Structural properties of carbon nitride films prepared by high dose nitrogen implantation into carbon thin films
期刊论文
JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 1996, 卷号: 79, 期号: 5, 页码: 2364-2368
Xin,HP
;
Lin,CL
;
Xu,WP
;
Wang,LW
;
Zou,SC
;
Wu,XL
;
Shi,XH
;
Zhu,H
收藏
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2012/03/25
SILICON-NITRIDE
ION-BEAMS
SURFACES
N+
EXISTENCE OF STRUCTURAL INHOMOGENEITY IN ION-BEAM-MODIFIED POLYIMIDE FILMS
期刊论文
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS, 1994, 卷号: 12, 期号: 6, 页码: 3200-3204
XU,XL
;
XU,D
;
XU,HL
;
WANG,R
;
Zou,SC
;
DU,GD
;
XIA,GQ
收藏
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浏览/下载:54/0
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提交时间:2012/03/25
RAMAN-SCATTERING
CARBON-FILMS
SPECTROSCOPY
POLYMERS
CONDUCTIVITY
IMPLANTATION
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