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上海微系统与信息技术... [7]
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学科主题:Materials Science
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Structural Distortion and Defects in Ti3AlC2 irradiated by Fe and He Ions
期刊论文
CHINESE PHYSICS LETTERS, 2018, 卷号: 35, 期号: 2
作者:
Fang, Xue-Song
;
Wang, Zhi-Guang
;
Huang, Qing
;
He, Wen-Hao
;
Chang, Hai-Long
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浏览/下载:139/0
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提交时间:2018/12/04
Max Phases
Helium Bubbles
Ti3sic2
Metals
Resistance
Mechanisms
Ceramics
The structural properties of B-O codoped diamond films
期刊论文
DIAMOND AND RELATED MATERIALS, 2009, 卷号: 18, 期号: 2-3, 页码: #REF!
作者:
Hu, XJ
;
Shen, YG
;
Hao XP(郝小鹏)
;
Wang BY(王宝义)
;
Hao, XP
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浏览/下载:21/0
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提交时间:2016/04/12
Diamond film
n-type doping
Ion implantation
Structural properties
Research on metastable electron traps in the modified SOI materials induced by Si ion implantation
期刊论文
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A, 2008, 卷号: 26, 期号: 2, 页码: L1-L4
Zhang, EX
;
Yu, ZS
;
Cao, YG
;
Yang, H
;
Zhang, ZX
;
Wang, X
收藏
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浏览/下载:8/0
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提交时间:2011/11/04
SIMOX BURIED OXIDES
RAY PHOTOELECTRON-SPECTROSCOPY
RADIATION RESPONSE
OXYGEN
INSULATOR
Fabrication of device-grade separation-by-implantation-of-oxygen materials by optimizing dose-energy match
期刊论文
JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH, 2002, 卷号: 17, 期号: 7, 页码: 1634-1643
Chen,M
;
Yu,YH
;
Wang,X
;
Wang,X
;
Chen,J
;
Liu,XH
;
Dong,YM
收藏
  |  
浏览/下载:25/0
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提交时间:2012/03/24
BURIED OXIDE
ION-IMPLANTATION
SIMOX
SILICON
LAYERS
TEMPERATURE
WAFERS
A study of optical characteristics of damage in oxygen-implanted 6H-SiC
期刊论文
JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE LETTERS, 1999, 卷号: 18, 期号: 12, 页码: 979-982
Wang,LW
;
Huang,JP
;
Lin,CL
;
Zou,SC
;
Zheng,YX
;
Wang,XJ
;
Huang,DM
;
Zetterling,CM
;
Ostling,M
收藏
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浏览/下载:22/0
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提交时间:2012/03/25
ENHANCED THERMAL-OXIDATION
SILICON-CARBIDE
ION-IMPLANTATION
THIN-FILMS
AMORPHIZATION
LAYERS
OPTICAL EFFECTS OF DOPED TOP LAYERS IN SILICON-ON-INSULATOR STRUCTURES FORMED BY ION-IMPLANTATION
期刊论文
JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE, 1995, 卷号: 30, 期号: 13, 页码: 3539-3542
YU,YH
;
LIN,CG
;
Zou,SC
收藏
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浏览/下载:20/0
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提交时间:2012/03/25
THE EFFECT OF SI, F IMPLANTATION ON THE FORMATION AND LIGHT-EMITTING PROPERTIES OF POROUS SILICON
期刊论文
MATERIALS SYNTHESIS AND PROCESSING USING ION BEAMS, 1994, 卷号: 316, 期号: 0, 页码: 445-450
WANG,LW
;
LIN,CL
;
LIU,P
;
ZHOU,ZY
;
Zou,SC
收藏
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浏览/下载:8/0
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提交时间:2012/03/25
EXISTENCE OF STRUCTURAL INHOMOGENEITY IN ION-BEAM-MODIFIED POLYIMIDE FILMS
期刊论文
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS, 1994, 卷号: 12, 期号: 6, 页码: 3200-3204
XU,XL
;
XU,D
;
XU,HL
;
WANG,R
;
Zou,SC
;
DU,GD
;
XIA,GQ
收藏
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浏览/下载:54/0
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提交时间:2012/03/25
RAMAN-SCATTERING
CARBON-FILMS
SPECTROSCOPY
POLYMERS
CONDUCTIVITY
IMPLANTATION
OPTICAL EFFECTS OF BURIED CONDUCTIVE LAYERS FORMED BY MEV ION-IMPLANTATION
期刊论文
MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B-SOLID STATE MATERIALS FOR ADVANCED TECHNOLOGY, 1994, 卷号: 22, 期号: 2-3, 页码: 297-302
YU,YH
;
Zou,SC
;
ZHOU,ZY
;
ZHAO,GQ
收藏
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浏览/下载:8/0
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提交时间:2012/03/25
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