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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 学科主题：Electromechanical devices - Electrostatic actuators - Finite element method - Gold - MEMS - Mirrors - Residual stresses     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 An electrostatically actuated MEMS tilting mirror based on self-assembly 期刊论文 Qiangjiguang Yu Lizishu/High Power Laser and Particle Beams, 2015, 卷号: 27, 期号: 2, 页码: 024127 作者:  Wang, Qiang;  Wang, Weimin;  Qiu, Chuankai;  Yu, Junsheng 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2016/11/22