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科研机构
半导体研究所 [5]
内容类型
期刊论文 [4]
会议论文 [1]
发表日期
2016 [1]
2011 [2]
2009 [1]
2008 [1]
学科主题
微电子学 [5]
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学科主题:微电子学
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A low feed-through 3D vacuum packaging technique with silicon vias for RF MEMS resonators
期刊论文
journal of micromechanics and microengineering, 2016, 卷号: 27, 期号: 1, 页码: 014003
Jicong Zhao
;
Quan Yuan
;
Xiao Kan
;
and Jinling Yang
;
Fuhua Yang
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2017/03/16
Formation of silicon nanocrystals embedded in high-kappa dielectric HfO2 and their application for charge storage
期刊论文
journal of vacuum science & technology b, 2011, 卷号: 29, 期号: 2, 页码: article no.21018
Li WL
;
Jia R
;
Chen C
;
Li HF
;
Liu XY
;
Yue HH
;
Ding WC
;
Ye TC
;
Kasai S
;
Hashizume T
;
Wu NJ
;
Xu BS
收藏
  |  
浏览/下载:38/2
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提交时间:2011/07/05
SI NANOCRYSTALS
MEMORY
TECHNOLOGY
DEPOSITION
VOLTAGE
LAYER
Stability of Mechanical Properties for Submicrometer Single-Crystal Silicon Cantilever Under Cyclic Load
期刊论文
journal of microelectromechanical systems, 2011, 卷号: 20, 期号: 1, 页码: 178-183
Zhu YF
;
Zhang FX
;
Yang JL
;
Zheng HY
;
Yang FH
收藏
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浏览/下载:52/8
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提交时间:2011/07/06
Cyclic
mechanical property
resonant frequency
stability
submicrometer-thick cantilever
ENERGY-DISSIPATION
STRUCTURAL FILMS
THIN-FILMS
FATIGUE
Enhanced charge storage characteristics of silicon nanocrystals fabricated by electron-beam coevaporation of Si and SiOx(x=1 or 2)
期刊论文
journal of vacuum science & technology b, 2009, 卷号: 27, 期号: 6, 页码: 2462-2467
Chen C (Chen Chen)
;
Jia R (Jia Rui)
;
Li WL (Li Weilong)
;
Li HF (Li Haofeng)
;
Ye TC (Ye Tianchun)
;
Liu XY (Liu Xinyu)
;
Liu M (Liu Ming)
;
Kasai S (Kasai Seiya)
;
Tamotsu H (Tamotsu Hashizume)
;
Wu NJ (Wu Nanjian)
收藏
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浏览/下载:139/35
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提交时间:2010/03/08
electron beam deposition
In-situ Boron-doped Low-stress LPCVD Polysilicon for Micromechanical Disk Resonator
会议论文
9th international conference on solid-state and integrated-circuit technology, beijing, peoples r china, oct 20-23, 2008
Liu, YF
;
Xie, J
;
Yang, JL
;
Tang, LJ
;
Yang, FH
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浏览/下载:31/0
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提交时间:2010/03/09
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