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Mo/Si软X射线多层膜的界面粗糙度研究 期刊论文
强激光与粒子束, 2007, 卷号: 19, 期号: 5, 页码: 763, 766
秦俊岭; 邵建达; 易葵; 周洪军; 霍同林; 范正修
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沉积温度对LaF3薄膜性能的影响 期刊论文
强激光与粒子束, 2007, 卷号: 19, 期号: 9, 页码: 1507, 1511
余华; 崔云; 申雁鸣; 齐红基; 邵建达; 范正修
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制备工艺条件对薄膜微结构的影响 期刊论文
中国激光, 2006, 卷号: 33, 期号: 5, 页码: 673, 678
田光磊; 申雁鸣; 沈健; 邵建达; 范正修
收藏  |  浏览/下载:817/83  |  提交时间:2009/09/22
沉积温度对HfO2薄膜残余应力的影响 期刊论文
强激光与粒子束, 2005, 卷号: 17, 期号: 12, 页码: 1812, 1816
申雁鸣; 贺洪波; 邵淑英; 范正修; 邵建达
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退火对ZrO2薄膜微结构及激光损伤阈值的影响 期刊论文
强激光与粒子束, 2005, 卷号: 17, 期号: 2, 页码: 217, 221
田光磊; 黄建兵; 贺洪波; 邵建达
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