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科研机构
上海光学精密机械研究... [5]
内容类型
期刊论文 [5]
发表日期
2007 [2]
2006 [1]
2005 [2]
学科主题
光学薄膜 [5]
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学科主题:光学薄膜
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Mo/Si软X射线多层膜的界面粗糙度研究
期刊论文
强激光与粒子束, 2007, 卷号: 19, 期号: 5, 页码: 763, 766
秦俊岭
;
邵建达
;
易葵
;
周洪军
;
霍同林
;
范正修
收藏
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浏览/下载:820/182
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提交时间:2009/09/22
Mo/Si多层膜
Atomic force microscopy
软X射线
Magnetron sputtering
界面粗糙度
Surface roughness
反射率
X ray diffraction
沉积温度对LaF3薄膜性能的影响
期刊论文
强激光与粒子束, 2007, 卷号: 19, 期号: 9, 页码: 1507, 1511
余华
;
崔云
;
申雁鸣
;
齐红基
;
邵建达
;
范正修
收藏
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浏览/下载:1098/222
  |  
提交时间:2009/09/22
Crystal structure
Deposition
Grain size and shape
Interferometers
Lanthanum compounds
Refractive index
Residual stresses
Spectrophotometers
Temperature
X ray diffraction
制备工艺条件对薄膜微结构的影响
期刊论文
中国激光, 2006, 卷号: 33, 期号: 5, 页码: 673, 678
田光磊
;
申雁鸣
;
沈健
;
邵建达
;
范正修
收藏
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浏览/下载:817/83
  |  
提交时间:2009/09/22
薄膜
X射线衍射
晶相结构
迁移率
扩散激活能
沉积温度对HfO2薄膜残余应力的影响
期刊论文
强激光与粒子束, 2005, 卷号: 17, 期号: 12, 页码: 1812, 1816
申雁鸣
;
贺洪波
;
邵淑英
;
范正修
;
邵建达
收藏
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浏览/下载:566/107
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提交时间:2009/09/22
HfO2薄膜
HfO
2
films
残余应力
Residual stress
沉积温度
Deposition temperature
微结构
Microstructure
X射线衍射
XRD
退火对ZrO2薄膜微结构及激光损伤阈值的影响
期刊论文
强激光与粒子束, 2005, 卷号: 17, 期号: 2, 页码: 217, 221
田光磊
;
黄建兵
;
贺洪波
;
邵建达
收藏
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浏览/下载:635/158
  |  
提交时间:2009/09/22
退火
Annealing
ZrO2薄膜
ZrO
2
coatings
激光损伤阈值
Laser-induced damage threshold
X射线衍射
XRD
弱吸收
Weak absorption
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