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科研机构
上海微系统与信息技术... [3]
内容类型
期刊论文 [2]
学位论文 [1]
发表日期
2004 [3]
学科主题
Physics, A... [1]
Physics, M... [1]
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发表日期:2004
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Silicon-on-insulating multi-layers for total-dose irradiation hardness
期刊论文
CHINESE PHYSICS LETTERS, 2004, 卷号: 21, 期号: 8, 页码: 1600-1603
Zhang, EX
;
Yi, WB
;
Liu, XH
;
Chen, M
;
Liu, ZL
;
Xi, W
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浏览/下载:19/0
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提交时间:2012/03/24
IMPLANTATION
OXIDES
SIMOX
Effects of buried oxide layer on indium diffusion in separation by implantation of oxygen
期刊论文
JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 2004, 卷号: 96, 期号: 6, 页码: 3217-3220
Chen, P
;
Zhu, M
;
Fu, RKY
;
Chu, PK
;
An, ZH
;
Liu, W
;
Montgomery, N
;
Biswas, S
收藏
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浏览/下载:21/0
  |  
提交时间:2012/03/24
TRANSIENT ENHANCED DIFFUSION
ON-INSULATOR FILMS
SILICON
SIO2
PERFORMANCE
CHANNEL
PROFILE
DEFECTS
SIMOX
图形化SOI技术研究
学位论文
博士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2004
董业民
收藏
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浏览/下载:29/0
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提交时间:2012/03/06
图形化SOI
SIMOX
DSOl器件
自热效应
浮体效应
纳米通道
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