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浏览/检索结果: 共6条，第1-6条 帮助 限定条件 发表日期：2002     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 An SOI-MEMS technology using substrate layer and bonded glass as wafer-level package 期刊论文 sensors and actuators a physical, 2002 Li, ZH; Hao, YL; Zhang, DC; Li, T; Wu, GY 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2015/11/10 micromachining  SOI  wafer-level package  MEMS   An experimental study on high-temperature metallization for micro-hotplate-based integrated gas sensors 期刊论文 sensors and actuators b chemical, 2002 Yan, GZ; Tang, ZN; Chan, PCH; Sin, JKO; Hsing, IM; Wang, YY 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2015/11/11 MEMS  metallization  metal electrode  TECHNOLOGY   An integrated gas sensor technology using surface micro-machining 期刊论文 sensors and actuators b chemical, 2002 Chan, PCH; Yan, GZ; Sheng, LY; Sharma, RK; Tang, Z; Sin, JKO; Hsing, IM; Wang, Y 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2015/11/11 integrated sensor  gas sensor  surface micro-machine  micro-hotplate  carbon monoxide sensor   Structural failure analysis and numerical simulation of microaccelerometers under impulsive loading 其他 2002-01-01 Hu, YQ; Wang, LS; Zeng, ZJ; Hao, YL; Zhao, YP 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2015/11/16 micromachined accelerometer  drop test  failure analysis  numerical simulation  MICROMACHINED INERTIAL SENSORS   Friction and wear properties in MEMS 期刊论文 SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL, 2002, 卷号: Aug-97, 页码: 486-491 Wang, WY; Wang, YL; Bao, HF; Xiong, B; Bao, MH 收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2012/03/24 ATOMIC-FORCE MICROSCOPY  SILICON  SURFACE  ADHESION  COATINGS   Study on bis[phthalocyaninato] praseodymium complex/silicon hybrid chemical field-effect transistor gas sensor 期刊论文 THIN SOLID FILMS, 2002, 卷号: 406, 期号: 1-2, 页码: 262-267 作者:  Xie, D;  Jiang, YD;  Pan, W;  Jiang, JH;  Wu, ZM 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2020/01/14 gas sensors  MOSFET  ChemFET  LB films  NO2  bis[phthalocyaninato]  complex