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厦门大学 [3]
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学位论文 [2]
期刊论文 [1]
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2016 [1]
2013 [2]
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Ge表面等离子体改性及其在GOI和Al/n-Ge接触中的应用研究
学位论文
2016, 2016
赖淑妹
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浏览/下载:140/0
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提交时间:2017/06/20
等离子体改性
亲水性
绝缘体上锗
Al/n-Ge接触
肖特基势垒
plasma modification
hydrophilicity
Germanium on Insulator
Al/n-Ge contact
Schottky barrier height
合金条件对Al/n~+-Ge欧姆接触的影响
期刊论文
2013
林旺
;
阮育娇
;
陈松岩
;
李成
;
赖虹凯
;
汤丁亮
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浏览/下载:5/0
  |  
提交时间:2016/05/17
Al/n+-Ge接触
离子注入
退火
圆形传输线模型(CTLM)
接触电阻率
Al/n+-Ge contact
ion implantation
annealing
circular transmission line model(CTLM)
contact resistivity
GOI衬底制备和Al/n+-Ge欧姆接触研究
学位论文
2013, 2013
林旺
收藏
  |  
浏览/下载:2/0
  |  
提交时间:2016/01/13
Al/n+-Ge接触
绝缘体上的锗
抛光
Al/n+-Ge contacts
germanium-on-insulator (GOI)
polishing
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