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基于高次谐波的高功率高稳定13.5 nm极紫外光源 期刊论文
中国激光/Chinese Journal of Lasers, 2024, 卷号: 51, 期号: 07, 页码: 172-179
作者:  李逵;  孟润宇;  李睿晅;  张光银;  姚铭杰
收藏  |  浏览/下载:1/0  |  提交时间:2024/05/06
大连极紫外相干光源 期刊论文
中国激光, 2019, 卷号: 46, 期号: 01, 页码: 43-50
作者:  余永;  李钦明;  杨家岳;  王光磊;  史磊
收藏  |  浏览/下载:55/0  |  提交时间:2020/10/19
蓝光二极管抽运掺镨氟化钇锂晶体腔内倍频348.9nm紫外激光器 期刊论文
中国激光, 2018, 期号: 12, 页码: 19-23
作者:  牛娜;  曲大鹏;  窦微;  任广胜;  周阳
收藏  |  浏览/下载:0/0  |  提交时间:2019/09/17
气体放电等离子体(DPP)极紫外光源研究进展 期刊论文
微型机与应用, 2016, 页码: 8-11
作者:  赵红军;  李昊罡;  颜亮;  李川
收藏  |  浏览/下载:7/0  |  提交时间:2019/11/26
应用于极紫外光刻系统多层膜的研究进展 期刊论文
量子电子学报, 2014, 卷号: 31
作者:  秦娟娟;  董伟伟;  周曙;  游利兵;  方晓东
收藏  |  浏览/下载:4/0  |  提交时间:2020/11/23
“LPP-EUV”光源中的高功率CO_2激光监测与控制系统 期刊论文
中国光学, 2013, 期号: 04, 页码: 544-550
姜振华; 王挺峰; 郭劲
收藏  |  浏览/下载:129/0  |  提交时间:2014/03/07
紫外光通信系统光源技术发展研究 无文献类型
作者:  任杰;  王绍昱;  梁菁;  陶立强
收藏  |  浏览/下载:1/0  |  提交时间:2020/01/04
超强超短激光脉冲的优化及极紫外X射线光源的研究 学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2010
作者:  蔡懿
收藏  |  浏览/下载:15/0  |  提交时间:2016/11/28
LD抽运355-nm准连续紫外激光器 期刊论文
中国激光, 2009
作者:  胡爱兰;  郭强;  吴边;  王首长;  张少飞
收藏  |  浏览/下载:4/0  |  提交时间:2020/11/23
Generation of UV radiation at 335.5 nm based on frequency-quadrupling of a diode-pumped Nd:YVO4 laser 期刊论文
2008, 卷号: 6, 期号: 3, 页码: 192-194
作者:  范秀伟[1];  黄海涛[1];  蒋继建[2];  何京良[1,3]
收藏  |  浏览/下载:1/0  |  提交时间:2019/12/31


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