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浏览/检索结果: 共6条，第1-6条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Investigation of microstructure and properties of ultrathin graded ZrNx self-assembled diffusion barrier in deep nano-vias prepared by plasma ion immersion implantation. 期刊论文 APPLIED SURFACE SCIENCE, 2018 作者:  Zou, Jianxiong;  Liu, Bo;  Lin, Liwei;  Lu, Yuanfu;  Dong, Yuming 收藏  |  浏览/下载：40/0  |  提交时间：2019/01/31 Investigation of amorphous RuMoCalloy films as a seedless diffusion barrier for Cup_SiOCH ultralow_k dielectricintegration. 期刊论文 Applied Physics A. Materials Science & Processing, 2015 作者:  Guohua Jiao;  Bo Liu;  Qiran Li 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2016/01/27 Barrier performance of ultrathin amorphous Nb-Ni film between copper and silicon 期刊论文 MATERIALS LETTERS, 2015, 卷号: 159, 页码: 94-97 作者:  Dai, X. H.[1];  Zhang, L.[2];  Feng, Z. D.[3];  Li, X. H.[4];  Guo, J. X.[5] 收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2019/12/21 Nb-Ni amorphous film  Ultrathin diffusion barrier layer  Copper-interconnect   Photoelectronic behaviors of bilayer ultrathin films manganite-based heterojunctions 期刊论文 JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 2013, 期号: 113, 页码: 17D716—17D716 J.R.Sun; W. W. Gao,1 L. Hu,2 Y. P. Sun,2 J. R. Sun,1,a) J. Shen,3 R. J. Chen,4 Y. F. Chen,5 and B. G. Shen1 收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2013/12/16 Photoelectronic behaviors of bilayer ultrathin films manganite-based heterojunctions 期刊论文 JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 2013, 卷号: 113, 期号: 17 Gao, WW; Hu, L; Sun, YP; Sun, JR; Shen, J; Chen, RJ; Chen, YF; Shen, BG 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2014/01/16 Aminosilanization Nanoadhesive Layer for Nanoelectric Circuits with Porous Ultralow Dielectric Film 期刊论文 ACS APPLIED MATERIALS & INTERFACES, 2013, 卷号: 5, 期号: 13, 页码: 6097 Zhao, ZK; He, YY; Yang, HF; Qu, XP; Lu, XC; Luo, JB 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2014/01/16 aminosilanization  adhesive  low dielectric  oxygen plasma  diffusion barrier  interface adhesion