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一种Mo基/TaN金属栅叠层结构的刻蚀方法 专利
申请日期: 2010-06-30,
作者:  李永亮;  徐秋霞
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400MHz,CW 300W VDMOS功率场效应晶体管 期刊论文
半导体技术, 2000, 期号: 2, 页码: 26-28
作者:  刘英坤;  王占利;  何玉樟;  郎秀兰;  张大立
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全离子注入自对准难熔金属氮化物复合栅GaAs MESFET技术研究 期刊论文
半导体学报, 1996
高玉芝; 张利春; 尹红坤; 宁宝俊
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