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Co-sputtered Pd/SnO2:NiO heterostructured sensing films for MEMS-based ethanol sensors
期刊论文
MATERIALS LETTERS, 2020, 卷号: 273, 页码: 4
作者:
Wang, Y.
;
Tong, W. G.
;
Han, N.
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2020/07/23
Pd/SnO2
NiO thin films
Composite materials
Sputtering
Ethanol gas detection
XPS
MEMS gas sensor
Sensitive Cross-Linked SnO2:NiO Networks for MEMS Compatible Ethanol Gas Sensors
期刊论文
Nanoscale Research Letters, 2020, 卷号: 15, 期号: 1
作者:
Tong,Weiguang
;
Wang,Ying
;
Bian,Yuzhi
;
Wang,Anqi
;
Han,Ning
收藏
  |  
浏览/下载:20/0
  |  
提交时间:2020/03/24
Cross-linked SnO2:NiO network
Self-assembly
Gas sensor
MEMS compatible
Ethanol detection
Anodic bondable Li-Na-Al-B-Si-O glass-ceramics for Si - ULTCC heterogeneous integration
期刊论文
JOURNAL OF THE EUROPEAN CERAMIC SOCIETY, 2019, 卷号: 39, 期号: 7, 页码: 2419
作者:
Chen, Guanyu
;
Ma, Mingsheng
;
Liu, Zhifu
;
Wei, Anqing
;
Zavabeti, Ali
收藏
  |  
浏览/下载:81/0
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提交时间:2019/12/26
ULTCC
Glass-ceramic
Anodic bonding
Activation energy
MEMS
Pressure sensor
Sputtered SnO2:NiO thin films on self-assembled Au nanoparticle arrays for MEMS compatible NO2 gas sensors
期刊论文
SENSORS AND ACTUATORS B-CHEMICAL, 2019, 卷号: 278, 页码: 28-38
作者:
Wang, Ying
;
Liu, Chengyao
;
Wang, Zhou
;
Song, Zhiwei
;
Zhou, Xinyuan
收藏
  |  
浏览/下载:51/0
  |  
提交时间:2018/12/04
Au/SnO2:NiO thin films
Heterostructure
Self-assembly
NO2 gas detection
Thermal annealing
Fermi level
Thermal Drift Investigation of an SOI-Based MEMS Capacitive Sensor with an Asymmetric Structure
期刊论文
SENSORS, 2019, 卷号: 19
作者:
Li, Haiwang
;
Zhai, Yanxin
;
Tao, Zhi
;
Gui, Yingxuan
;
Tan, Xiao
收藏
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浏览/下载:7/0
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提交时间:2019/12/30
MEMS
capacitive accelerometer
asymmetric structure
equivalent expansion ratio
Toward calibration-free wall shear stress measurement using a dual hot-film sensor and Kelvin bridges
期刊论文
MEASUREMENT SCIENCE AND TECHNOLOGY, 2018, 卷号: 29
作者:
Liu, Xuanhe
;
Li, Zhuoyue
;
Wu, Chuijie
;
Gao, Nan
收藏
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浏览/下载:9/0
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提交时间:2019/12/02
hot-film
MEMS thermal sensor
wall shear stress
skin friction
calibration-free
Stochastic Approach for Feature-Based Tip Localization and Planning in Nanomanipulations
期刊论文
IEEE TRANSACTIONS ON AUTOMATION SCIENCE AND ENGINEERING, 2017, 卷号: 14, 期号: 4, 页码: 1643-1654
作者:
Yuan S(袁帅)
;
Wang ZD(王志东)
;
Liu LQ(刘连庆)
;
Xi N(席宁)
;
Wang YC(王越超)
收藏
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浏览/下载:15/0
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提交时间:2017/11/15
AFM-based nanomanipulation
AFM tip localization
feature-based localization
Kalman filter
Analysis of phase drift based on uncertainty analysis in electro-thermal excited MEMS resonant sensor
会议论文
3rd International Conference on Engineering and Technology Innovation (ICETI), Kenting, TAIWAN, 2017-06-01
作者:
Shi, Huichao
;
Fan, Shangchun
;
Zhang, Yuwen
收藏
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2019/12/30
Analysis of phase drift based on uncertainty analysis in electro-thermal excited MEMS resonant sensor
期刊论文
3rd International Conference on Engineering and Technology Innovation (ICETI), 2017, 卷号: 23, 页码: 2043-2053
作者:
Shi, Huichao
;
Fan, Shangchun
;
Zhang, Yuwen
收藏
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2019/12/30
Stochastic Approach for Feature-Based Tip Localization and Planning in Nanomanipulations
期刊论文
IEEE TRANSACTIONS ON AUTOMATION SCIENCE AND ENGINEERING, 2017, 卷号: 14, 期号: 4, 页码: 1643-1654
作者:
Yuan S(袁帅)
;
Wang ZD(王志东)
;
Liu LQ(刘连庆)
;
Wang YC(王越超)
收藏
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浏览/下载:10/0
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提交时间:2017/11/15
Afm-based Nanomanipulation
Afm Tip Localization
Feature-based Localization
Kalman Filter
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