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科研机构
西安交通大学 [1]
长春应用化学研究所 [1]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
2018 [1]
1995 [1]
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Improvement and application of pad conditioning accuracy in chemical mechanical polishing
期刊论文
Optical Engineering, 2018, 卷号: 57
作者:
Ban, Xinxing
;
Zhao, Huiying
;
Zhu, Xueliang
;
Zhao, Shijie
;
Xie, Ruiqing
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提交时间:2019/11/26
Application process
Chemical mechanical polishing(CMP)
Density distributions
Diamond conditioners
Kinematic Analysis
Optical processing
Planarity
Process parameters
EFFECTS OF ANODIC-OXIDATION ON THE SURFACE-STRUCTURE OF HIGHLY ORIENTED PYROLYTIC-GRAPHITE REVEALED BY IN-SITU ELECTROCHEMICAL SCANNING-TUNNELING-MICROSCOPY IN H2SO4 SOLUTION
期刊论文
electrochimica acta, 1995, 卷号: 40, 期号: 16, 页码: 2627-2633
ZHANG BL
;
WANG EK
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提交时间:2010/12/30
TUNNELING-MICROSCOPY
ELECTRON-TRANSFER
IMAGES
DEFECTS
CARBON
MICROSTRUCTURE
INTERCALATION
CORRUGATIONS
BOUNDARIES
ACTIVATION
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