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| 甚大口径分体自重组式主镜系统关键技术研究 学位论文
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者: 杨会生
  收藏 | 浏览/下载：3/0 | 提交时间：2020/08/24
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| 投影光刻物镜像质补偿策略与补偿技术研究 学位论文
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者: 赵磊
收藏 | 浏览/下载：9/0 | 提交时间：2020/08/24
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| 浸没式光刻投影物镜光学薄膜技术研究 学位论文
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者: 毕丹丹
收藏 | 浏览/下载：9/0 | 提交时间：2019/09/23
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| 失调反射系统的矢量像差理论实验研究 学位论文
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者: 赵楠
收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2019/09/23
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| 光瞳离轴自由曲面光学系统像差特性分析 期刊论文
光学学报, 2017, 页码: 102-111
作者: 史浩东; 张新; 李英超; 江伦; 王超
收藏 | 浏览/下载：56/0 | 提交时间：2018/04/09
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| 偏轴自由曲面光学系统像差特性研究 期刊论文
光学学报, 2016, 期号: 7, 页码: 85-92
作者: 姜会林; 王灵杰; 张新; 史浩东; 王超
收藏 | 浏览/下载：20/0 | 提交时间：2017/09/17
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| 基于矢量像差的自由曲面光学系统像差特性研究 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 12, 页码: 126-134
作者: 史浩东; 姜会林; 张新; 王灵杰; 伍雁雄
收藏 | 浏览/下载：15/0 | 提交时间：2016/07/06
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| 极紫外光刻物镜分组可视化界面设计优化 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 12, 页码: 135-143
作者: 王君; 王丽萍; 金春水; 苗亮; 谢耀
收藏 | 浏览/下载：17/0 | 提交时间：2016/07/06
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| 高NA投影光刻物镜波像差检测技术研究 学位论文
博士: 中国科学院大学, 2015
作者: 李晶
收藏 | 浏览/下载：64/0 | 提交时间：2015/11/30
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| 高数值孔径投影光刻物镜的光学设计 学位论文
博士: 中国科学院大学, 2015
作者: 徐明飞
收藏 | 浏览/下载：63/0 | 提交时间：2015/11/30
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