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长春光学精密机械与物... [1]
沈阳自动化研究所 [1]
内容类型
学位论文 [2]
发表日期
2015 [2]
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扫描探针显微镜研制中的若干关键技术研究
学位论文
博士, 中国科学院沈阳自动化研究所: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2015
作者:
王栋
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提交时间:2015/08/20
扫描探针显微镜
原子力显微镜
关键技术
迟滞前馈校正
幅值检测
压电陶瓷两维偏摆镜驱动系统的设计
学位论文
硕士: 中国科学院大学, 2015
作者:
吴伊玲
收藏
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浏览/下载:29/0
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提交时间:2016/04/11
压电陶瓷
两维偏摆镜
驱动控制系统
改进非对称PI迟滞模型
前馈PID控制
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