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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：2007    专题：北京大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Design of high-sensitivity cantilever and its monolithic integration with CMOS circuits 期刊论文 ieee sensors journal, 2007 Yu, Xiaomei; Tang, Yaquan; Zhang, Haitao; Li, Ting; Wang, Wei 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2015/11/10 cantilever  monolithic integration  post-CMOS process  silicon-on-insulator (SOI) CMOS  PIEZORESISTIVE CANTILEVERS  OPTIMIZATION  READOUT  SENSORS  ARRAY