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上海微系统与信息技术... [5]
内容类型
期刊论文 [5]
发表日期
2000 [5]
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发表日期:2000
专题:上海微系统与信息技术研究所
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Spectroscopic ellipsometry study of SiC/Si heterostructures formed by high-dose C+ implantation into silicon
期刊论文
SOLID STATE COMMUNICATIONS, 2000, 卷号: 116, 期号: 3, 页码: 177-180
Yang, SH
;
Chen, DH
;
Li, HQ
;
Zhang, YL
;
Mo, D
;
Wong, SP
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提交时间:2012/03/24
ARC ION-SOURCE
CARBON IMPLANTATION
Nonlinear optical properties of Cu nanoparticles embedded in insulators by high-current Cu- implantation
期刊论文
NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2000, 卷号: 166, 页码: 877-881
Takeda, Y
;
Zhao, JP
;
Lee, CG
;
Gritsyna, VT
;
Kishimoto, N
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浏览/下载:15/0
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提交时间:2012/03/24
COPPER-ION IMPLANTATION
NANOCRYSTAL GROWTH
SILICA GLASSES
ABSORPTION
DEPENDENCE
Structural and electrical characteristics of oxygen-implanted 6H-SiC
期刊论文
NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2000, 卷号: 169, 页码: 1-5
Wang, LW
;
Huang, JP
;
Duo, XZ
;
Song, ZT
;
Lin, CL
;
Zetterling, CM
;
Ostling, M
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浏览/下载:15/0
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提交时间:2012/03/24
ENHANCED THERMAL-OXIDATION
SILICON-CARBIDE
ION-IMPLANTATION
AMORPHIZATION
LAYERS
Nickel precipitation at nanocavities in separation by implantation of oxygen
期刊论文
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A, 2000, 卷号: 18, 期号: 5, 页码: 2249-2253
Zhang, M
;
Zeng, XC
;
Chu, PK
;
Scholz, R
;
Lin, CL
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浏览/下载:11/0
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提交时间:2012/03/24
IMMERSION ION-IMPLANTATION
INDUCED CAVITIES
SILICON
COPPER
Investigation of damage behaviour and isolation effect of n-type 6H-SiC by implantation of oxygen
期刊论文
JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS, 2000, 卷号: 33, 期号: 12, 页码: 1551-1555
Wang, LW
;
Huang, JP
;
Duo, XZ
;
Song, ZT
;
Lin, CL
;
Zetterling, CM
;
Ostling, M
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浏览/下载:9/0
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提交时间:2012/03/24
ENHANCED THERMAL-OXIDATION
ION-IMPLANTATION
SILICON-CARBIDE
AMORPHIZATION
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