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半导体研究所 [7]
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Batch Fabrication of Wear-Resistant and Conductive Probe with PtSi Tip
期刊论文
MICROMACHINES, 2021, 卷号: 12, 期号: 11, 页码: 1326
作者:
Liu, Meijie
;
Zhu, Yinfang
;
Zhao, Junyuan
;
Wang, Lihao
;
Yang, Jinling
;
Yang, Fuhua
收藏
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浏览/下载：16/0
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提交时间：2022/03/28
Batch Fabrication of Silicon Nanometer Tip Using Isotropic Inductively Coupled Plasma Etching
期刊论文
MICROMACHINES, 2020, 卷号: 11, 期号: 7, 页码: 638
作者:
Lihao Wang
;
Meijie Liu
;
Junyuan Zhao
;
Jicong Zhao
;
Yinfang Zhu
;
Jinling Yang
;
Fuhua Yang
收藏
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浏览/下载：8/0
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提交时间：2021/06/28
3D-encapsulated VHF MEMS resonator with high frequency stability and low vibration sensitivity
期刊论文
SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL, 2019, 卷号: 286, 页码: 123-132
作者:
Zeji Chen
;
Fengxiang Wang
;
Quan Yuan
;
Xiao Kan
;
Jinling Yang
;
Jicong Zhao
;
Fuhua Yang
收藏
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浏览/下载：4/0
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提交时间：2020/07/31
Enhanced Binding Efficiency of Microcantilever Biosensor for the Detection of Yersinia
期刊论文
Sensors, 2019, 卷号: 19, 页码: 3326
作者:
Xiaochen Liu
;
Lihao Wang
;
Junyuan Zhao
;
Yinfang Zhu
;
Jinling Yang
;
Fuhua Yang
收藏
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浏览/下载：3/0
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提交时间：2020/07/31
A novel scanning force microscopy probe with thermal-electrical actuation and piezo-resistive sensing
期刊论文
Journal of Micromechanics & Microengineering, 2018, 卷号: 28, 期号: 11, 页码: 115003
作者:
Xiaochen Liu
;
Lihao Wang
;
Yinfang Zhu
;
Junyuan Zhao
;
Jinying Zhang
;
Jinling Yang
;
Fuhua Yang
收藏
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浏览/下载：44/0
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提交时间：2019/11/12
A low feed-through 3D vacuum packaging technique with silicon vias for RF MEMS resonators
期刊论文
journal of micromechanics and microengineering, 2016, 卷号: 27, 期号: 1, 页码: 014003
Jicong Zhao
;
Quan Yuan
;
Xiao Kan
;
and Jinling Yang
;
Fuhua Yang
收藏
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浏览/下载：13/0
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提交时间：2017/03/16
Frequency Stability of RF-MEMS Disk Resonators
期刊论文
ieee transactions on electron devices, 2015, 卷号: 62, 期号: 5, 页码: 1603-1608
Quan Yuan
;
Wei Luo
;
Hui Zhao
;
Bohua Peng
;
Jinling Yang
;
Fuhua Yang
收藏
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浏览/下载：26/0
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提交时间：2016/04/08
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