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科研机构
上海微系统与信息技... [44]
内容类型
期刊论文 [44]
发表日期
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专题:上海微系统与信息技术研究所
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Studies on H2O-based Atomic Layer Deposition of Al2O3 Dielectric on Pristine Graphene
期刊论文
JOURNAL OF INORGANIC MATERIALS, 2012, 卷号: 27, 期号: 9, 页码: 956-960
Zhang, YW
;
Wan, L
;
Cheng, XH
;
Wang, ZJ
;
Xia, C
;
Cao, D
;
Jia, TT
;
Yu, YH
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浏览/下载:84/0
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提交时间:2013/04/17
graphene
atomic layer deposition
Al2O3 dielectrics
Plasma enhanced atomic layer deposition of HfO2 with in situ plasma treatment
期刊论文
MICROELECTRONIC ENGINEERING, 2012, 卷号: 93, 页码: 15-18
Xu, DW
;
Cheng, XH
;
Zhang, YW
;
Wang, ZJ
;
Xia, C
;
Cao, D
;
Yu, YH
;
Shen, DS
收藏
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浏览/下载:10/0
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提交时间:2013/04/17
PEALD
HfO2
Plasma treatment
High-k
Fluoroalcohol and fluorinated-phenol derivatives functionalized mesoporous SBA-15 hybrids: high-performance gas sensing toward nerve agent
期刊论文
JOURNAL OF MATERIALS CHEMISTRY, 2012, 卷号: 22, 期号: 5, 页码: 2263-2270
Zheng, Q
;
Zhu, YH
;
Xu, JQ
;
Cheng, ZX
;
Li, HM
;
Li, XX
收藏
  |  
浏览/下载:10/0
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提交时间:2013/04/23
Realization of 850 V breakdown voltage LDMOS on Simbond SOI
期刊论文
MICROELECTRONIC ENGINEERING, 2012, 卷号: 91, 页码: 102-105
Wang, ZJ
;
Cheng, XH
;
He, DW
;
Xia, C
;
Xu, DW
;
Yu, YH
;
Zhang, D
;
Wang, YY
;
Lv, YQ
;
Gong, DW
;
Shao, K
收藏
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提交时间:2013/04/17
SOI
Simbond
High voltage device
LDMOS
Studies on H2O-based Atomic Layer Deposition of Al2O3 Dielectric on Pristine Graphene
期刊论文
JOURNAL OF INORGANIC MATERIALS, 2012, 卷号: 27, 期号: 9, 页码: 956-960
Zhang, YW
;
Wan, L
;
Cheng, XH(重点实验室)
;
Wang, ZJ
;
Xia, C
;
Cao, D
;
Jia, TT
;
Yu, YH(重点实验室)
收藏
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浏览/下载:10/0
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提交时间:2013/05/10
Materials Science
Ceramics
Plasma enhanced atomic layer deposition of HfO2 with in situ plasma treatment
期刊论文
MICROELECTRONIC ENGINEERING, 2012, 卷号: 93, 页码: 15-18
Xu, DW
;
Cheng, XH
;
Zhang, YW
;
Wang, ZJ
;
Xia, C
;
Cao, D
;
Yu, YH
;
Shen, DS
收藏
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2013/05/10
Engineering
Physics
Electrical & Electronic
Nanoscience & Nanotechnology
Applied
Optics
Realization of 850 V breakdown voltage LDMOS on Simbond SOI
期刊论文
MICROELECTRONIC ENGINEERING, 2012, 卷号: 91, 页码: 102-105
Wang, ZJ
;
Cheng, XH(重点实验室)
;
He, DW
;
Xia, C
;
Xu, DW
;
Yu, YH(重点实验室)
;
Zhang, D
;
Wang, YY
;
Lv, YQ
;
Gong, DW
;
Shao, K
收藏
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浏览/下载:16/0
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提交时间:2013/05/10
Engineering
Physics
Electrical & Electronic
Nanoscience & Nanotechnology
Applied
Optics
Characterization of NbAlO dielectric film deposited on InP
期刊论文
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B, 2011, 卷号: 29, 期号: 1, 页码: 01A803
He,DW
;
Cheng,XH
;
Xu,DW
;
Wang,ZJ
;
Yu,YH
;
Sun,QQ
;
Zhang,DW
收藏
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浏览/下载:43/0
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提交时间:2012/04/10
A V S AMER INST PHYSICS
An analytical model for coplanar waveguide on silicon-on-insulator substrate with conformal mapping technique
期刊论文
CHINESE PHYSICS B, 2011, 卷号: 20, 期号: 1, 页码: 10210
He,DW
;
Cheng,XH程新红
;
Wang,ZJ
;
Xu,DW
;
Song,ZR
;
Yu,YH
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浏览/下载:11/0
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提交时间:2012/04/10
IOP PUBLISHING LTD
Effects of Al2O3 on Thermal Stability and Electrical Reliability of HfO2 Film on Strained SiGe
期刊论文
RARE METAL MATERIALS AND ENGINEERING, 2011, 卷号: 40, 期号: 8, 页码: 1344-1347
Xu, DP
;
Wan, L
;
Cheng, XH(重点实验室)
;
He, DW
;
Song, ZR
;
Yu, YH(重点实验室)
;
Shen, DS
收藏
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浏览/下载:15/0
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提交时间:2013/05/10
Materials Science
Multidisciplinary
Metallurgy & Metallurgical Engineering
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