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调质结构对Ti-TiN-Zr-ZrN多层膜残余应力及力学性能的影响
会议
广东湛江,
作者:
林松盛
;
周克崧
;
冯诚诚 代明江 石倩 胡芳 侯惠君 韦春贝 赵升升
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提交时间:2019/04/11
Ti-TiN-Zr-ZrN多层膜
调制结构
残余应力 电弧离子镀
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