CORC  > 华南理工大学
调质结构对Ti-TiN-Zr-ZrN多层膜残余应力及力学性能的影响
林松盛; 周克崧; 冯诚诚 代明江 石倩 胡芳 侯惠君 韦春贝 赵升升
关键词Ti-TiN-Zr-ZrN多层膜 调制结构 残余应力 电弧离子镀
会议地点广东湛江
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内容类型会议
URI标识http://www.corc.org.cn/handle/1471x/2041497
专题华南理工大学
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GB/T 7714
林松盛,周克崧,冯诚诚 代明江 石倩 胡芳 侯惠君 韦春贝 赵升升.调质结构对Ti-TiN-Zr-ZrN多层膜残余应力及力学性能的影响.
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