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科研机构
上海微系统与信息技术... [3]
内容类型
期刊论文 [3]
发表日期
2005 [1]
2004 [1]
1994 [1]
学科主题
Applied [3]
Materials ... [3]
Multidisci... [2]
Coatings &... [1]
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学科主题:Applied
学科主题:Materials Science
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Hydrogen annealing effects on epitaxy of SOI wafer
期刊论文
MATERIALS LETTERS, 2005, 卷号: 59, 期号: 2-3, 页码: 361-365
Cheng,XL
;
Lin,ZL
;
Wang,YJ
;
Xiao,HB
;
Feng,Z
;
Zou,SC
收藏
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2012/03/24
SILICON-ON-INSULATOR
SIMOX
A study of silicon oxynitride film prepared by ion beam assisted deposition
期刊论文
MATERIALS LETTERS, 2004, 卷号: 58, 期号: 17-18, 页码: 2261-2265
Wang,YJ
;
Cheng,XL
;
Lin,ZL
;
Zhang,CS
;
Xiao,HB
;
Zhang,F
;
Zou,SC
收藏
  |  
浏览/下载:11/0
  |  
提交时间:2012/03/24
RAY PHOTOELECTRON-SPECTROSCOPY
WAVE-GUIDE
REFRACTIVE-INDEX
ON-INSULATOR
THIN-FILMS
AUGER-SPECTROSCOPY
INTEGRATED-OPTICS
NITRIDE FILMS
ELLIPSOMETRY
LAYERS
EXISTENCE OF STRUCTURAL INHOMOGENEITY IN ION-BEAM-MODIFIED POLYIMIDE FILMS
期刊论文
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS, 1994, 卷号: 12, 期号: 6, 页码: 3200-3204
XU,XL
;
XU,D
;
XU,HL
;
WANG,R
;
Zou,SC
;
DU,GD
;
XIA,GQ
收藏
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浏览/下载:54/0
  |  
提交时间:2012/03/25
RAMAN-SCATTERING
CARBON-FILMS
SPECTROSCOPY
POLYMERS
CONDUCTIVITY
IMPLANTATION
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