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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 学科主题：微电子学    内容类型：会议论文     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 A SIMPLE METHOD FOR EFFECTIVELY RESTRAIN ELECTROCHEMICAL CORROSION OF POLYCRYSTALLINE SILICON BY HF-BASED SOLUTIONS 会议论文 24th ieee international conference on micro electro mechanical systems (mems), cancun, mexico, 2011 Xie J (Xie J.); Liu YF (Liu Y. F.); Zhang ML (Zhang M. L.); Yang JL (Yang J. L.); Yang FH (Yang F. H.) 收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2011/12/13