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科研机构
半导体研究所 [4]
内容类型
会议论文 [2]
期刊论文 [2]
发表日期
2003 [1]
2002 [3]
学科主题
半导体材料 [4]
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学科主题:半导体材料
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Fabrication of novel double-hetero-epitaxial SOT structure Si/gamma-Al2O3/Si
期刊论文
journal of crystal growth, 2003, 卷号: 247, 期号: 3-4, 页码: 255-260
Tan LW
;
Wang QY
;
Wang J
;
Yu YH
;
Liu ZL
;
Lin LY
收藏
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浏览/下载:51/0
  |  
提交时间:2010/08/12
heteroepitaxial growth
gamma-Al2O3
silicon
silicon on insulator
FILMS
SI
DEPOSITION
AL2O3
Very low-pressure VLP-CVD growth of high quality gamma-Al2O3 films on silicon by multi-step process
期刊论文
journal of crystal growth, 2002, 卷号: 236, 期号: 1-3, 页码: 261-266
Tan LW
;
Zan YD
;
Wang J
;
Wang QY
;
Yu YH
;
Wang SR
;
Liu ZL
;
Lin LY
收藏
  |  
浏览/下载:81/3
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提交时间:2010/08/12
metalorganic chemical vapor deposition
CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION
EPITAXIAL-GROWTH
AL2O3 FILMS
SI
Heteroepitaxial growth of novel SOI material Si/gamma-Al2O3/Si
会议论文
symposium on silicon-based heterostructure materials held at the 8th iumrs international conference on electronic materials (iumrs-icem2002), xian, peoples r china, jun 10-14, 2002
Wang QY
;
Tan LW
;
Wang J
;
Yu YH
;
Lin LY
收藏
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浏览/下载:13/0
  |  
提交时间:2010/11/15
Heteroepitaxial growth and annealing of gamma-Al2O3 thin films on silicon
会议论文
symposium on silicon-based heterostructure materials held at the 8th iumrs international conference on electronic materials (iumrs-icem2002), xian, peoples r china, jun 10-14, 2002
Tan LW
;
Wang J
;
Wang QY
;
Yu YH
;
Lin LY
收藏
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提交时间:2010/11/15
EPITAXIAL-GROWTH
AL2O3
SI
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