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浏览/检索结果: 共11条，第1-10条 帮助 限定条件 发表日期：2017    专题：微电子研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Fabrication of ultra-high aspect ratio (>160:1) silicon nanostructures by using Au metal assisted chemical etching 期刊论文 J. Micromech. Microeng, 2017 作者:  Shi LN(史丽娜);  Xie CQ(谢常青);  Li HL(李海亮);  Ye TC(叶甜春) 收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2018/07/11 Nanofabrication and characterization of high-line-density x-ray transmission gratings 期刊论文 J. Micro/Nanolith. MEMS MOEMS, 2017 作者:  Zhu XL(朱效立);  Xie CQ(谢常青);  Li HL(李海亮) 收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2018/07/11 Charge pumping test technique using CMOS ring oscillator on leakage issue 期刊论文 Microelectronics Journal, 2017 作者:  Zhao C(赵超);  Liu YB(刘勇波);  Zhu ZY(朱正勇);  Zhu HL(朱慧珑);  Wan GX(万光星) 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2018/07/09 Study of sigma-shaped source/drain recesses for embedded-SiGe pMOSFETs 期刊论文 Microelectronic Engineering, 2017 作者:  Zhu HL(朱慧珑);  Xu QX(徐秋霞);  Li JF(李俊峰);  Zhao C(赵超);  Henry Homayoun Radamson 收藏  |  浏览/下载：47/0  |  提交时间：2018/07/09 pMOSFETs Featuring ALD W Filling Metal Using SiH4 and B2H6 Precursors in 22 nm Node CMOS Technology 期刊论文 Nanoscale Research Letters, 2017 作者:  Zhao C(赵超);  Wang GL(王桂磊);  Luo J(罗军);  Liu JB(刘金彪);  Yang T(杨涛) 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2018/07/05 High order diffraction suppression of the membrane with hexagonal hole array 会议论文 作者:  Liu ZW(刘子维);  Shi LN(史丽娜);  Pu TC(浦探超);  Xie CQ(谢常青);  Li HL(李海亮) 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2018/07/26 The Quasi-Triangle Array of Rectangular Holes with the Completely 会议论文 作者:  Shi LN(史丽娜);  Li HL(李海亮);  Liu ZW(刘子维);  Pu TC(浦探超);  Gao N(高南) 收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2018/07/26 Integration of Highly Strained SiGe in Source and Drain with HK and MG for 22 nm Bulk PMOS Transistors 期刊论文 Nanoscale Research Letters, 2017 作者:  Wang GL(王桂磊);  Ye TC(叶甜春);  Henry Homayoun Radamson;  Zhao C(赵超);  Zhu HL(朱慧珑) 收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2018/07/05 High order diffraction suppression by quasiperiodic two-dimensional gratings 期刊论文 OPTICAL MATERIALS EXPRESS, 2017 作者:  Wang GY(王冠亚);  Li HL(李海亮);  Pu TC(浦探超);  Liu ZW(刘子维);  Shi LN(史丽娜) 收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2018/07/11 Higher-order diffraction suppression of free-standing quasiperiodic nanohole arrays in the x-ray region 期刊论文 Applied Physics Letters, 2017 作者:  Li HL(李海亮);  Shi LN(史丽娜);  Xie CQ(谢常青) 收藏  |  浏览/下载：7/0  |  提交时间：2018/07/11