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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 发表日期：2005    学科主题：physics     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Abnormal crystallization of silicon thin films deposited by ICP-CVD 期刊论文 CHINESE PHYSICS LETTERS, 2005, 卷号: 22, 期号: 12, 页码: 3130-3132 作者:  Li, JS;  Yin, M;  Wang, JX;  He, DY 收藏  |  浏览/下载：0/0  |  提交时间：2015/05/25 Al-induced crystallization during low-temperature deposition of Si films by inductively coupled plasma CVD 会议论文 11th China-Korea Symposium on Thin Film Materials, Chengdu, PEOPLES R CHINA, JUN 28-JUL 05, 2004 作者:  He, DY;  Wang, XQ;  Chen, Q;  Li, JS 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2015/07/31 inductively coupled plasma CVD  Al-induced crystallization growth  low-temperature poly-Si films   Aluminum-induced crystallization during deposition of silicon films by inductively coupled plasma CVD 期刊论文 ACTA PHYSICA SINICA/物理学报, 2005, 卷号: 54, 期号: 1, 页码: 269-273 作者:  Wang, XQ;  Li, JS;  Chen, Q;  Qi, J;  Yin, M 收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2015/05/25 ICP-CVD  Al-induced crystallization  Si thin films  low-temperature growth