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上海微系统与信息技术... [3]
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期刊论文 [3]
发表日期
2000 [3]
学科主题
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发表日期:2000
学科主题:Materials Science
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Compositional and structural studies of DC magnetron sputtered SiC films on Si(111)
期刊论文
THIN SOLID FILMS, 2000, 卷号: 365, 期号: 1, 页码: 53-57
Lei,YM
;
Yu,YH
;
Ren,CX
;
Zou,SC
;
Chen,DH
;
Wong,SP
;
Wilson,IH
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提交时间:2012/03/24
THIN-FILMS
GROWTH
DEVICES
Auger electron spectroscopy study of SiC thin films deposited on silicon
期刊论文
VACUUM, 2000, 卷号: 58, 期号: 4, 页码: 602-608
Lei,YM
;
Yu,YH
;
Cheng,LL
;
Ren,CX
;
Zou,SC
收藏
  |  
浏览/下载:13/0
  |  
提交时间:2012/03/24
GROWTH
IR studies of reactive DC magnetron sputtered SiC films on silicon using effective medium theory
期刊论文
MATERIALS LETTERS, 2000, 卷号: 43, 期号: 4, 页码: 215-219
Lei,YM
;
Yu,YH
;
Cheng,LL
;
Ren,CX
;
Zou,SC
;
Wong,SP
;
Chen,DH
;
Wilson,IH
收藏
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提交时间:2012/03/24
CARBON
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