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浏览/检索结果: 共7条，第1-7条 帮助 限定条件 专题：上海光学精密机械研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Research of Absolute Testing based on N-position Rotations 会议论文 作者:  Gao, Wanrong;  Liu, Huanhuan;  Liu, Shijie;  Fang, Qiaoran 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2017/12/25 光刻机工件台方镜面形子孔径拼接干涉测量技术研究 学位论文 硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2015 作者:  李永 收藏  |  浏览/下载：78/0  |  提交时间：2016/11/28 干涉测量  子孔径拼接  误差累积  高反射率平面  45°平面镜   A high accuracy subaperture stitching system for nonflatness measurement of wafer stage mirror 会议论文 conference on optical metrology and inspection for industrial applications iii held as part of spie/cos photonics asia 作者:  Lu, Yunjun;  Tang, Feng;  Wang, Xiangzhao;  Li, Yong;  Wan, Xiulong 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2016/11/28 大口径平面面形子孔径拼接干涉测量技术研究 学位论文 硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2012 作者:  徐洋 收藏  |  浏览/下载：84/0  |  提交时间：2016/11/28 干涉测量  光学检测  绝对检验  子孔径拼接   Design and control of an ultraprecision stage used in grating tiling 期刊论文 chinese journal of mechanical engineering (english edition), 2007, 卷号: 20, 期号: 1, 页码: 1, 4 Wang Yong and Liu Zhigang and Bo Feng and朱健强 收藏  |  浏览/下载：1337/229  |  提交时间：2009/09/18 Control  Design  Diffraction gratings  High energy lasers  Mechanisms  Piezoelectric actuators  Stability  Voltage control   星载大气激光雷达光机集成分析的研究 学位论文 作者:  穆永吉 收藏  |  浏览/下载：28/0  |  提交时间：2018/12/26 激光雷达，光机集成分析，有限元分析，光学设计，Zernike拟合  Lidar, Integrated optomechanical analysis, Finite element analysis, Optical design, Zernike Fitting   光学测量中的二维Gold矩阵方法 学位论文 作者:  李号 收藏  |  浏览/下载：32/0  |  提交时间：2018/12/26 二维Gold矩阵  Two-dimensional Gold matrix  二维绝对式光栅尺  Two-dimensional absolute optical encoder  结构光  Structured light