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华南理工大学 [5]
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Statistical Modeling of SRAM Yield Performance and Circuit Variability (CPCI-S收录)
会议
作者:
Cheng, Qi[1]
;
Chen, Yijian[1]
收藏
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浏览/下载:6/0
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提交时间:2019/04/11
SRAM
SASP
SAQP
circuit variability
statistical modeling
yield
Process Characteristics and Layout Decomposition of Self-aligned Sextuple Patterning (CPCI-S收录)
会议论文
DESIGN FOR MANUFACTURABILITY THROUGH DESIGN-PROCESS INTEGRATION VII
作者:
Kang, Weiling[1]
;
Chen, Yijian[1]
收藏
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浏览/下载:8/0
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提交时间:2019/04/15
Self-aligned sextuple patterning (SASP)
conflicting graph
assisting mandrels
layout decomposition
A Layout Decomposition Algorithm for Self-Aligned Multiple Patterning (CPCI-S收录)
会议论文
DESIGN-PROCESS-TECHNOLOGY CO-OPTIMIZATION FOR MANUFACTURABILITY VIII
作者:
You, Jun[1]
;
Liu, Hongyi[1]
;
Chen, Yijian[1]
收藏
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浏览/下载:11/0
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提交时间:2019/04/12
self-aligned multiple patterning (SAMP)
self-aligned quadruple patterning (SAQP)
self-aligned sextuple patterning (SASP)
layout decomposition
coloring
A Comparative Study of Self-Aligned Quadruple and Sextuple Patterning Techniques for Sub-15nm IC Scaling (CPCI-S收录)
会议论文
OPTICAL MICROLITHOGRAPHY XXVI
作者:
Chen, Yijian[1]
;
Kang, Weiling[1]
;
Zhang, Pan[1]
收藏
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浏览/下载:8/0
  |  
提交时间:2019/04/15
self-aligned quadruple/sextuple patterning (SAQP/SASP)
layout decomposition/syntheses
assisting mandrels
overlay error
probability of failure (POF)
Technological Merits, Process Complexity, and Cost Analysis of Self-aligned Multiple Patterning (CPCI-S收录)
会议论文
OPTICAL MICROLITHOGRAPHY XXV, PTS 1AND 2
作者:
Chen, Yijian[1]
;
Cheng, Qi[1]
;
Kang, Weiling[1]
收藏
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浏览/下载:11/0
  |  
提交时间:2019/04/15
Self-aligned multiple patterning (SAMP)
self-aligned double (SADP)
triple (SATP)
quadruple (SAQP)
sextuple (SASP)
octuple (SAOP) patterning
mandrel
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