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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 专题：山东大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 微机电系统的微细加工技术 期刊论文 微纳电子技术, 2004, 期号: 11, 页码: 32-38 作者:  孔祥东;  张玉林;  宋会英;  卢文娟 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2020/01/03 微细加工技术  电化学方法  3D电化学微加工  约束刻蚀剂层技术