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三明治电容式MEMS加速度传感器真空封装研究 学位论文
硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2012
蔡梅妮
收藏  |  浏览/下载：145/0  |  提交时间：2013/04/24
MEMS电容式微加速度传感器Q值测试与力反馈接口电路研究 学位论文
硕士, 上海微系统与信息技术研究所: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 2009
张灵霖
收藏  |  浏览/下载：110/0  |  提交时间：2012/03/06
Investigation and simulation on the dynamic shock response performance of packaged high-g MEMS accelerometer versus the impurity concentration of the piezoresistor 期刊论文
MICROELECTRONICS RELIABILITY, 2009, 卷号: 49, 期号: 5, 页码: 510-516
Yang, ZX; Huang, Y; Li, XX; Chen, GA
收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2011/12/17
Optical fiber accelerometer based on MEMS torsional micromirror - art. no. 68360Q 期刊论文
MEMS/MOEMS TECHNOLOGIES AND APPLICATIONS III, 2008, 卷号: 6836, 页码: Q8360-Q8360
Zeng, FL; Zhong, SL; Xu, J; Wu, YM
收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2011/12/17
“8悬臂梁-质量块”结构的新型微加速度计研究 学位论文
硕士, 上海微系统与信息技术研究所: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 2007
王育才
收藏  |  浏览/下载：58/0  |  提交时间：2012/03/06
Squeeze film air damping in MEMS 期刊论文
SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL, 2007, 卷号: 136, 期号: 1, 页码: 3-27
Bao, MH; Yang, H
收藏  |  浏览/下载：23/0  |  提交时间：2012/03/24
Dynamic response of a plastic encapsulated high-g MEMS accelerometer 期刊论文
PROCEEDINGS OF THE SIXTH IEEE CPMT CONFERENCE ON HIGH DENSITY MICROSYSTEM DESIGN AND PACKAGING AND COMPONENT FAILURE ANALYSIS (HDP'04), 2004, 页码: 353-358
Jiang, YQ; Cheng, YJ; Xu, W; Zhang, K; Li, XX; Luo, L
收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2011/12/20
Dynamic response of a plastic encapsulated high-g MEMS accelerometer 期刊论文
PROCEEDINGS OF THE SIXTH IEEE CPMT CONFERENCE ON HIGH DENSITY MICROSYSTEM DESIGN AND PACKAGING AND COMPONENT FAILURE ANALYSIS (HDP'04), 2004, 页码: 353-358
Jiang, YQ; Cheng, YJ; Xu, W; Zhang, K; Li, XX; Luo, L
收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2011/12/17
Simulation of the potting effect on the high-G MEMS accelerometer 期刊论文
JOURNAL OF ELECTRONIC MATERIALS, 2004, 卷号: 33, 期号: 8, 页码: 893-899
Jiang, YQ; Du, MH; Luo, L; Li, XX
收藏  |  浏览/下载：7/0  |  提交时间：2011/12/17
Packaging effects on the performances of MEMS for high-G accelerometer with double-cantilevers 期刊论文
SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL, 2003, 卷号: 102, 期号: 3, 页码: 268-278
Huang,WD; Cai,X; Xu,BL; Luo,L; Li,XX; Cheng,ZN
收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2011/12/17

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