×
验证码:
换一张
忘记密码?
记住我
CORC
首页
科研机构
检索
知识图谱
申请加入
托管服务
登录
注册
在结果中检索
科研机构
上海光学精密机械研究... [7]
清华大学 [2]
兰州大学 [2]
中国科学院大学 [2]
内容类型
期刊论文 [13]
发表日期
2016 [4]
2015 [2]
2013 [1]
2011 [1]
2010 [2]
2008 [2]
更多...
学科主题
optics [1]
×
知识图谱
CORC
开始提交
已提交作品
待认领作品
已认领作品
未提交全文
收藏管理
QQ客服
官方微博
反馈留言
浏览/检索结果:
共13条,第1-10条
帮助
限定条件
内容类型:期刊论文
已选(
0
)
清除
条数/页:
5
10
15
20
25
30
35
40
45
50
55
60
65
70
75
80
85
90
95
100
排序方式:
请选择
作者升序
作者降序
题名升序
题名降序
发表日期升序
发表日期降序
提交时间升序
提交时间降序
Measuring Method of Polarization Aberration Based on Vector Aerial Image of Alternating Phase-shift Mask
期刊论文
光学学报, 2016, 卷号: 36, 期号: 8, 页码: 811003
作者:
Li SK(李思坤)
;
Zhang H(张恒)
;
Meng ZJ(孟泽江)
;
Zhu BE(诸波尔)
;
Yan GY(闫观勇)
收藏
  |  
浏览/下载:10/0
  |  
提交时间:2017/12/25
General analytical expressions for the impact of polarization aberration on lithographic imaging under linearly polarized illumination
期刊论文
J. Opt. Soc. Am. A-Opt. Image Sci. Vis., 2016, 卷号: 33, 期号: 6, 页码: 1112
作者:
Zhu, Boer
;
Shen, Lina
;
Wang, Xiangzhao
;
Li, Sikun
;
Yan, Guanyong
收藏
  |  
浏览/下载:12/0
  |  
提交时间:2017/12/25
General analytical expressions for the impact of polarization aberration on lithographic imaging under linearly polarized illumination
期刊论文
J. Opt. Soc. Am. A-Opt. Image Sci. Vis., 2016, 卷号: 33, 期号: 6, 页码: 1112
作者:
Zhang, Heng
;
Shen, Lina
;
Wang, Xiangzhao
;
Li, Sikun
;
Yan, Guanyong
收藏
  |  
浏览/下载:21/0
  |  
提交时间:2017/12/25
Measuring Method of Polarization Aberration Based on Vector Aerial Image of Alternating Phase-shift Mask
期刊论文
光学学报, 2016, 卷号: 36, 期号: 8, 页码: 811003
作者:
Yan GY(闫观勇)
;
Shen LN(沈丽娜)
;
Wang XC(王向朝)
;
Li SK(李思坤)
;
Zhu BE(诸波尔)
收藏
  |  
浏览/下载:35/0
  |  
提交时间:2017/12/25
Analytical analysis of the impact of polarization aberration of projection lens on lithographic imaging
期刊论文
j. micro-nanolithogr. mems moems, 2015, 卷号: 14, 期号: 4, 页码: 43504
作者:
Shen, Lina
;
Li, Sikun
;
Wang, Xiangzhao
;
Yan, Guanyong
收藏
  |  
浏览/下载:13/0
  |  
提交时间:2016/11/28
投影物镜偏振像差对光刻成像质量影响的解析分析方法
期刊论文
光学学报, 2015, 卷号: 35, 期号: 6, 页码: 611003
作者:
沈丽娜
;
李思坤
;
王向朝
;
闫观勇
收藏
  |  
浏览/下载:12/0
  |  
提交时间:2016/11/28
一种基于线性模型的光刻投影物镜偏振像差补偿方法
期刊论文
光学学报, 2013, 卷号: 33, 期号: 6, 页码: 622002
作者:
涂远莹
;
王向朝
收藏
  |  
浏览/下载:9/0
  |  
提交时间:2016/11/28
Demagnifying high-resolution imaging based on a new system for nanolithography
期刊论文
OPTICS COMMUNICATIONS, 2011, 卷号: 284, 期号: 16-17, 页码: 3891-3894
作者:
Meng, QQ
;
Zhang, XP
;
Cheng, L
;
Cao, PF
;
Li, YE
收藏
  |  
浏览/下载:4/0
  |  
提交时间:2015/12/15
Photolithography
Alternating phase shift mask
Planar hyperlens
交替型暗域相移掩模的并行算法
期刊论文
2010, 2010
闫大顺
;
周强
;
蔡懿慈
;
洪先龙
;
YAN Da-shun
;
ZHOU Qiang
;
CAI Yi-ci
;
HONG Xian-long
收藏
  |  
浏览/下载:2/0
Adaptive layout partitioning for dark field alternating phase-shift mask design
期刊论文
2010, 2010
Wang Di
;
Wu Weimin
;
Hong Xianlong
收藏
  |  
浏览/下载:3/0
©版权所有 ©2017 CSpace - Powered by
CSpace