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上海微系统与信息技术... [5]
上海光学精密机械研究... [4]
沈阳自动化研究所 [1]
内容类型
学位论文 [10]
发表日期
2014 [2]
2011 [1]
2007 [2]
2006 [1]
2004 [1]
2001 [1]
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利用飞秒激光直写制备三维回音壁模式光学微腔及其应用
学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2014
作者:
林锦添
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浏览/下载:23/0
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提交时间:2016/11/28
光学微腔
超快光学
激光微加工
微光学
透明介质
利用飞秒激光直写制备三维回音壁模式光学微腔及其应用
学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2014
作者:
林锦添
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浏览/下载:173/0
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提交时间:2016/11/28
光学微腔
超快激光
激光微加工
微光学
透明介质
集成电路凸点封装设备离心腔体与热处理单元气流及热场研究
学位论文
博士, 中国科学院沈阳自动化研究所: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2011
作者:
王靖震
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浏览/下载:79/0
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提交时间:2012/07/27
有限元分析
回归设计
数学模型
滑膜变结构控制
利用Pseudo-MOS方法研究改性SIMOX SOI材料的总剂量辐照效应
学位论文
硕士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2007
杨慧
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浏览/下载:20/0
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提交时间:2012/03/06
SOI
SIMOX
总剂量辐照效应
硅注入
Pseudo-MOS
纳米硅在SIMOX材料抗辐照加固中的应用研究
学位论文
博士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2007
钱聪
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浏览/下载:17/0
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提交时间:2012/03/06
SIMOX
硅离子注入
纳米硅
总剂量辐照效应
Pseudo-MOS
离子注入SOI材料的总剂量辐照效应研究
学位论文
博士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2006
张恩霞
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浏览/下载:19/0
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提交时间:2012/03/06
SOI
氧氮共注
SIMOX
总剂量辐照效应
Pseudo-MOS
图形化SOI技术研究
学位论文
博士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2004
董业民
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浏览/下载:29/0
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提交时间:2012/03/06
图形化SOI
SIMOX
DSOl器件
自热效应
浮体效应
纳米通道
SOI圆片线位错和针孔密度及PIII新技术的研究
学位论文
硕士: 中国科学院上海冶金研究所 , 2001
郑望
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浏览/下载:16/0
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提交时间:2012/03/06
SOI
SIMOX
Secco
Cu-plating
PIII
基于平面光栅尺的光刻机工件台位置测量技术研究
学位论文
作者:
郑亚忠
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浏览/下载:264/0
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提交时间:2018/12/26
光刻机,工件台,位置测量,平面光栅尺
Lithography tools, Wafer stage, Position measurement, Plane grating encoder
飞秒激光直写在透明材料内部制备方形凹陷包层光波导
学位论文
作者:
王鹏
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浏览/下载:29/0
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提交时间:2018/12/26
飞秒激光直写
femtosecond laser direct writing
包层光波导
depressed cladding waveguides
球差校正
spherical aberration correction
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