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科研机构
厦门大学 [1]
上海光学精密机械研究... [1]
内容类型
学位论文 [2]
发表日期
2016 [1]
学科主题
材料学 [1]
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超精密飞切加工机床主轴运动特性分析及其对加工质量影响的研究
学位论文
2016, 2016
孙郅佶
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提交时间:2017/06/20
飞切加工
主轴回转误差
表面粗糙度
微波纹
支持向量机
Fly-cutting
Spindle motion error
Surface roughness
Micro-waves
SVM
基于碲基相变材料的激光热模光刻技术研究
学位论文
作者:
魏涛
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提交时间:2018/12/26
激光热模光刻
Laser heat-mode lithography
热模光刻胶
heat-mode resists
灰度光刻
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