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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 内容类型：外文期刊     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Study on electrothermally actuated cantilever array for nanolithography 外文期刊 2010 作者:  Chen, DP;  Ye, TC;  Fu, JY 收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2010/11/26 Modeling and optimal design of multilayer thermal cantilever microactuators 外文期刊 2009 作者:  Fu, JY;  Ou, Y;  Jiao, BB;  Ye, TC;  Chen, DP 收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2010/11/26 Dip-pen Nanolithography  Arrays   Two microthermal shear stress sensors: surface micromachined and bulk-bonding micromachined 外文期刊 2008 作者:  Shi, SL;  Yi, L;  Chen, DP;  Ou, Y;  Jing, YP 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2010/11/26 Thermal Flow Sensors  Sacrificial Layer  Dry Release