Study on electrothermally actuated cantilever array for nanolithography | |
Chen, DP; Ye, TC; Fu, JY | |
2010 | |
内容类型 | 外文期刊 |
源URL | [http://10.10.10.126/handle/311049/8998] |
专题 | 微电子研究所_集成电路先导工艺研发中心 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | Chen, DP,Ye, TC,Fu, JY. Study on electrothermally actuated cantilever array for nanolithography. 2010. |
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